答: 等离子体 CVD 法 plasma chemical vapour-phase deposition (PCVD) 又称“内等离 子氧化法”、 “侧面横向火焰水解法”。用微波等离子体使石英基管内气态卤化物原料氧化 生成玻璃堆积膜层制造光纤坯棒的过程。 等离子体是由装在石英管外可迅速挪动的环形微波 腔发生的,这类微波等离体发生器的功率一般为 1000...
答:等离子体CVD 法plasma chemical vapour-phase deposition (PCVD)又称“内等离子氧化法”、“侧面横向火焰水解法”。用微波等离子体使石英基管内气态卤化物原料氧化生成玻璃沉积膜层制造光纤坯棒的过程。等离子体是由装在石英管外可快速移动的环形微波腔发生的,这种微波等离体发生器的功率一般为1000W 左右,频率2.45GH...