MOM电容(Metal-Oxide-Metal):MOM电容一般是金属连线形成的插指电容,结构如下,随着工艺技术的进步,金属线可以靠的更近,同时会有很多金属层可以用,因此这种结构的电容密度在先进工艺下会较大,使用更多。 与MIM电容不同,MOM电容是主要利用同层金属的插指结构来构建电容。 MOM结构 MOM电容的优点: -高单位电容值 -低...
越高级的工艺越倾向于使用 MOM 电容而不是 MIM 电容,为什么?从上述的几个角度可以看出, (1)MOM 在单位面积容值上,MOM 更节省面积。 (2)工艺实现和电压系数上,MOM 电容优势在于不需要额外 mask,MIM需要额外 mask 和工艺才能实现。MIM 电压系数不好,影响线性度,而且成本高。
MOM 电容比MIM电容的Q值大。3、形成不同:(1)、MOM是使用用来连线的metal自然形成的,可以多层stack插指形成。(2)、MIM一般用两层位于TOP metal和Mn-1之间的薄铝或者用一层薄铝和Mn-1形成电容。4、cap不同:(1)、MOM是fringe cap为主。(2)、MIM是平板cap为主。
MIM 电容 : 类似于平板电容器,电容值更准确,电容值不会随着偏压而变化。mTOP l & mTOP -1 电容值可用于上级板面积*估算单位容值,上下极板接法不能互换,一般用于analog,RF工艺。 相同面积的三个电容,电容值 MIM<MOM,MIM约是1/3 MOS电容值. MOM电容的优点是不需要额外的额外优点mask,MIM需要额外mask实现和...
mom电容: 下图是mom电容,型号是cap_mom_hv,mom电容是被做成“插指”结构了。一端为正,另一端为负。而且,在东部工艺库中cap_mom_hv电容,不仅在metal1层有电容,metal2也有电容,metal1的正极和metal2的正极通过过孔连接,metal1的负极和metal2的负极也是通过负极连接。如下面三幅图显示: ...
MIM电容和MOM电容在结构、形成方式、Q值、应用领域以及绝缘层材料方面存在差异。1. 结构不同:尽管两者都是由两个金属电极之间夹着一层绝缘层组成,但MOM电容是利用同层金属边沿之间的C,可以多层金属叠加。而MIM电容是利用上下两层金属之间的C,即极板电容,下极板为Mn,上极板为Mn+1。2. 形成方式不同:MOM是使用用来...
1、产生方式不同:(1)、MOM 电容:MOM也就是finger 电容,即利用同层metal边沿之间的C,为了省面积,可以多层metal叠加。(2)、MIM电容:MIM是利用上下两层metal之间的C,即极板电容,下极板为Mn,上极板为Mn+1,因为普通的Mn和Mn+1在三维空间隔着氧化层离得比较远,所以C并不大。MIM会引入一...
1、产生方式不同:(1)、MOM 电容:MOM也就是finger 电容,即利用同层metal边沿之间的C,为了省面积,可以多层metal叠加。(2)、MIM电容:MIM是利用上下两层metal之间的C,即极板电容,下极板为Mn,上极板为Mn+1,因为普通的Mn和Mn+1在三维空间隔着氧化层离得比较远,所以C并不大。MIM会引入一...
MIM、MOM和MOS电容的区别图文详解-KIA MOS管 ic layout经常会遇到这三种电容: MOS, MOM , MIM。 MOS 电容: 两端结构的mos管,电容值不精确,可以实现随控制电压变化而变化的容值,上下极板接法不可互换。 MOS电容可以分为三层 上层是金属制成的栅电极(gate) ...
mom电容: 下图是mom电容,型号是cap_mom_hv,mom电容是被做成“插指”结构了。一端为正,另一端为负。而且,在东部工艺库中cap_mom_hv电容,不仅在metal1层有电容,metal2也有电容,metal1的正极和metal2的正极通过过孔连接,metal1的负极和metal2的负极也是通过负极连接。如下面三幅图显示: ...