MEMS芯片全称为微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems),是一种利用微细加工技术在硅晶圆上制造的微型机电系统1234。MEMS芯片通常具有微小的立体结构(三维结构),能够处理各种输入、输出信号,是传感器小型化、智能化的重要推动力24。 MEMS芯片的制造工艺通常包括成膜工序、光刻工序、蚀刻工序、键合工序等常规半导体...