MEMS芯片全称为微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Systems),是一种利用微细加工技术在硅晶圆上制造的微型机电系统1234。MEMS芯片通常具有微小的立体结构(三维结构),能够处理各种输入、输出信号,是传感器小型化、智能化的重要推动力24。 MEMS芯片的制造工艺通常包括成膜工序、光刻工序、蚀刻工序、键合工序等常规半导体...
百度试题 题目MEMS的中文全称是( )。 A.机械电子系统B.电子机械系统C.微传感器系统D.微机电系统相关知识点: 试题来源: 解析 D 反馈 收藏
MEMS的中文全称是()。 A.微机械系统 B.微电子系统 C.微传感器系统 D.微机电系统 温馨提示:细心做题,勇气铸就高分!正确答案 点击免费查看答案 试题上传试题纠错猜您对下面的试题感兴趣:点击查看更多与本题相关的试题三坐标测量仪由()三大部分组成。 A、 机械系统 B、 坐标系统 C、 电子系统 D、 软件系统 ...
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