MEMS流量传感器 返回列表 分享资质荣誉合作案例 宽量程比>300:1 响应速度快<5ms 超低启动流量 <0.05m/s 高灵敏度高精度 高于+/-3%读数精度 不可动部件,可靠性高 适用于洁净气体和液体 医疗呼吸、诊断设备 燃料电池控制 汽车空气流量计 家用燃气设备