MEMS热式气体质量流量传感器利用气体流过外部热源加热的流路管道时产生的温度场变化来测量气体质量流量,核心MEMS芯片集成一个热源(加热元件)和一对测温元件(分别置于热源的两边)。当MEMS芯片表面接触的气体静止时,热源所建立的热量分布图是以加热元件为中心的对称分布,两个测温元件的输出相等;当气体在MEMS芯片表面流动时...
MEMS热式气体质量流量传感器利用气体流过外部热源加热的流路管道时产生的温度场变化来测量气体质量流量,核心MEMS芯片集成一个热源(加热元件)和一对测温元件(分别置于热源的两边)。当MEMS芯片表面接触的气体静止时,热源所建立的热量分布图是以加热元件为中心的对称分布,两个测温元件的输出相等;当气体在MEMS芯片表面流动时...
全球领先厂商的三款MEMS热式气体质量流量传感器：AWM3300V（霍尼韦尔，Honeywell）、CAFS3000（康森斯克，Consensic）和D6F-P（欧姆龙，Omron）进行物理分析，包括器件拆解、芯片剖析及材料分析等，并依此推测出MEMS芯片制造工艺，还从器件封装、性能、PCB及芯片等方面进行对比分析。最后，检索并分析了上述产品的...