弹箭与制导学报2006年MEMS压力传感器的温度漂移分析及补偿电路设计*文丰,牛芳,张文栋,郭涛(仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学,太原030051)[摘要]文中针对MEMS压力传感器的温度漂移的现象,作了温度漂移原因的分析,以及采取了合适的温度补偿方法,设计了合适的温度补偿电路,通过实验取得了较好的效果。[关键词]ME...