DEM技术:DEM是Deep-etch,Electro-forming,microreplication的缩写,才赢感应耦合等离子体(ICP)深刻蚀技术替代X射线曝光,然后进行后续的微电铸和微复制工艺,该技术不需要昂贵的X射线曝光,成本低。 SLIGA技术:这种技术是结合硅面加工技术和常规LIGA技术而开发出来的一种新工艺,在这个工艺中国,牺牲层用加工成
MEMS技术在尺度上的特点是从1微米到1毫米,结构复杂得让人惊叹。除了我们熟悉的光刻和刻蚀工艺,电铸也是MEMS中常见的技术之一。说到电铸,其实它的英文缩写LIGA,源自德语Lithographie(光刻)、Galvanoformung(电镀)和Abformung(注塑)三个词的缩写。这是20世纪80年代德国卡尔斯鲁厄原子能研究所的W.Ehrfeld等人发明的一种微...
电铸技术，即LIGA技术，源自于德语，代表深层光刻、电镀与注塑三种技术的结合。该技术由德国卡尔斯鲁厄原子能研究所的W.Ehrfeld等人在20世纪80年代发明，专用于微纳米技术的超微细加工。LIGA技术特点明显，工艺流程包含四个关键步骤：X射线曝光、显影、电铸制模、注塑复制。在X射线曝光阶段，利用X射线或同步辐...
在精密微电子制造的领域，LIGA技术犹如璀璨的明珠，闪耀在MEMS技术的璀璨星河中。诞生于20世纪80年代德国的LIGA（Lithographie, Galvanoformung, Abformung）技术，巧妙地融合了光刻、电镀与注塑，为复杂微型零件的生产带来了革命性的突破。其显著特点在于高精度的制造能力，能实现大深宽比结构，且在大批量...
LIGA技术主要工艺过程:(1)同步辐射x光,铜掩膜板,PMMA光刻胶,电铸成形,注塑成形,高深宽比结构。 与传统微细加工方法相比,用LIGA技术进行超微 结构的微细加工
LIGA技术主要由三个核心工艺步骤组成: 1. **同步辐射X射线深层光刻(选项b)**:利用高强度X射线在光刻胶上进行曝光,形成微细结构。该步骤包含涂胶、曝光、显影等子过程,但涂胶作为子步骤不单独列为独立工艺。 2. **电铸成形(选项c)**:在显影后的光刻胶结构内电化学沉积金属,形成金属模具。 3. **注塑(选项...
UV-LIGA 1. Implementation of Eddy Current Sensor UsingUV-LIGATechnology; 基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制 2. Fabrication of nickel soft contact microprobe based onUV-LIGA; UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针 3. Experimental Research on Fabrication of Micro-structures & Micro-devices byUV-LIGA; ...
LIGA技术的工艺过程分为:1.深层同步辐射X射线光刻;2.电铸成型;3.模铸成型A.正确B.错误的答案是什么.用刷刷题APP,拍照搜索答疑.刷刷题(shuashuati.com)是专业的大学职业搜题找答案,刷题练习的工具.一键将文档转化为在线题库手机刷题,以提高学习效率,是学习的生产力工具
LIGA技术是()的缩写。 A光刻 B电铸 C刻蚀 D模铸 如何将EXCEL生成题库手机刷题 > 下载刷刷题APP,拍照搜索答疑 > 手机使用 分享 反馈 收藏 举报 参考答案: ABD 复制 纠错 举一反三 在进行人身安全检查时,对可能携带凶器、武器和爆炸物品等危险品的可疑人员,必要时可以依法使用()后进行检查。 A. 驱逐性...
百度试题 结果1 题目LIGA技术的工艺过程分为:深层同步辐射X射线光刻;电铸成型;模铸成型。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 正确 反馈 收藏