MEMS技术在尺度上的特点是从1微米到1毫米,结构复杂得让人惊叹。除了我们熟悉的光刻和刻蚀工艺,电铸也是MEMS中常见的技术之一。说到电铸,其实它的英文缩写LIGA,源自德语Lithographie(光刻)、Galvanoformung(电镀)和Abformung(注塑)三个词的缩写。这是20世纪80年代德国卡尔斯鲁厄原子能研究所的W.Ehrfeld等人发明的一种微...
DEM技术:DEM是Deep-etch,Electro-forming,microreplication的缩写,才赢感应耦合等离子体(ICP)深刻蚀技术替代X射线曝光,然后进行后续的微电铸和微复制工艺,该技术不需要昂贵的X射线曝光,成本低。 SLIGA技术:这种技术是结合硅面加工技术和常规LIGA技术而开发出来的一种新工艺,在这个工艺中国,牺牲层用加工成形,与基片完全...
电铸技术，即LIGA技术，源自于德语，代表深层光刻、电镀与注塑三种技术的结合。该技术由德国卡尔斯鲁厄原子能研究所的W.Ehrfeld等人在20世纪80年代发明，专用于微纳米技术的超微细加工。LIGA技术特点明显，工艺流程包含四个关键步骤：X射线曝光、显影、电铸制模、注塑复制。在X射线曝光阶段，利用X射线或同步辐...
在精密微电子制造的领域，LIGA技术犹如璀璨的明珠，闪耀在MEMS技术的璀璨星河中。诞生于20世纪80年代德国的LIGA（Lithographie, Galvanoformung, Abformung）技术，巧妙地融合了光刻、电镀与注塑，为复杂微型零件的生产带来了革命性的突破。其显著特点在于高精度的制造能力，能实现大深宽比结构，且在大批量...
近年来,电铸在微细加工中的应用得到了较快发展,尤其在近几年高速发展的LIGA技术的掩模加工和其应用产品中,该技术充分体现出了它的优越性能和潜在的应用前景.本文结合LIGA技术掩模的加工及其电铸产品,用已取得的实验结果来说明电铸的应用潜力. 关键词微细加工 / LIGA技术 / ...
LIGA技术主要工艺过程:(1)同步辐射x光,铜掩膜板,PMMA光刻胶,电铸成形,注塑成形,高深宽比结构。 与传统微细加工方法相比,用LIGA技术进行超微 结构的微细加工
百度试题 结果1 题目LIGA技术的工艺过程分为:深层同步辐射X射线光刻;电铸成型;模铸成型。( ) 相关知识点: 试题来源: 解析 正确 反馈 收藏
UV-LIGA是制作行波管(TWT)折叠波导慢波结构的一项重要技术,能够满足行波管对于慢波结构小尺寸,高精度和低表面粗糙度的加工要求.简要介绍了采用UV-LIGA技术制备340 GHz折叠波导慢波结构的工艺流程,主要包括在铜基底上通过光刻工艺制备厚胶膜结构,在厚胶膜结构中进行高精度电铸以及将半封闭铜电铸窄通道中胶膜去除等.对...
UV-LIGA 1. Implementation of Eddy Current Sensor UsingUV-LIGATechnology; 基于UV-LIGA技术的电涡流传感器研制 2. Fabrication of nickel soft contact microprobe based onUV-LIGA; UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针 3. Experimental Research on Fabrication of Micro-structures & Micro-devices byUV-LIGA; ...
电铸 LIGA技术是()的缩写。 A光刻 B电铸 C刻蚀 D模铸 点击查看答案 第4题 LIGA技术的第一步骤是()。 LIGA技术的第一步骤是()。 A、通过电铸从光刻胶三维结构上产生金属母模 B、用光刻的方法在光刻胶上刻出微机械或微器件的三维结构 C、用生产用模作大规模复制 D、用母模通过电铸或塑铸方法复制许多金...