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JGP-450a型磁控溅射沉积系统 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一、系统的主要组成及技术指标 极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后); 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S; 系统从大气开始抽气,40分钟可达到6.6x10-4 Pa; 停泵关机12小时后真空度:≤5 Pa; 系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、...
JGP-450a型磁控溅射沉积系统 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 一、系统的主要组成及技术指标 极限真空度:≤6.67x10-5Pa(经烘烤除气后); 系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S; 系统从大气开始抽气,40分钟可达到6.6x10-4Pa; 停泵关机12小时后真空度:≤5Pa; ...
武膝殷乙笆JGP-450a型磁控溅射沉积系统中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司一、系统的主要组成及技术指标极限真空度:≤-5Pa(经烘烤除气后);系统真空检漏漏率:≤-;系统从大气开始抽气,-4Pa;停泵关机12小时后真空度:≤5Pa;系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台...