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JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为(计算值)2.1nm的电子束,简便地描画出线宽在8nm以下(实际可达5nm)的图形。 此外,该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度,性能比优越。 利用最细电子束束斑(实测值直径≦2.9nm)可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。本公司独特...
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电子束光刻机都很贵，便宜的都不好用。英国有一家中国人开的公司，叫Nanobeam，东西很好，价格也很贵...
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日本电子电子束刻蚀, JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为(计算值)2.1nm的电子束,简便地描画出线宽... 在线客服 参数指标 我要提交参数指标我要纠错 电子枪ZrO/W 肖特基型 描画方式描画方式 加速电压25kV (选配), 50kV, 100kV ...
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