TXRF与ICP-MS在测试数据上会有一定的区别。ICP-MS的检出限通常比TXRF低1~2个量级,但ICP-MS难以测定由空气引入的某些元素,如N和O,且对于H、F、P和S在等离子体内离子化的几率较低。另外,ICP-MS比较适合分析液体或溶液样品,对于固体样品需先消化或溶解成悬浮液,可能带来分析元素的丢失和污染。而TXRF则可直接分析...
TXRF是高通量分析的理想选择,因其测量原理基于电子束与硅晶圆表面的相互作用,无需任何化学前处理。该技术允许在自动模式下快速分析常规元素和贵金属元素,并可使用映射(mapping)功能定位晶圆表面的局部污染。然而TXRF的检测下限(Low limit detection,LLD)较高,约1E9~1E11 atoms/cm2。 图一. TXRF的检测下限比较 英格...
目前我们为了能测试出晶圆表面这些超微量的金属离子当前大家使用的比较常见的技术手段一般为:VPD(Vapor Phase decomposition)化学气相分解)配合以下元素分析设备中的一种来实现: 1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al...
1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) TOF-SIMS能进行全元素检测,但是测试...
1.TXRF(全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(时间飞行二次离子质谱) TOF-SIMS能进行全元素检测,但是测试中标定定量太复杂。
特定的污染问题可导致半导体器件出现不同的缺陷，通常这些金属杂质是微量存在的。测试超微量金属离子的技术手段 为检测晶圆表面这些超微量的金属离子，目前常见的技术手段包括TXRF（全反射X射线荧光光谱仪）、TOF-SIMS（时间飞行二次离子质谱）和ICPMS（电感耦合等离子体质谱）。TXRF适用于检测重金属，但对某些...
S2 PICOFOX 光谱分析解决方案 TXRF Innovation with Integrity S2 PICOFOX – 第一次采用X荧光 实现真正的微量分析! 您需要了解环境XRF是非常复杂的元素分析方样品中微量 元素法吗? 的浓度吗? 您仅有非常少量的生物样品可供 完全不是!S2 PICOFOX 光谱仪设计紧 分析吗?您觉得日常分析时样品 制凑,可以车载移动进行...
B8224 ボイラの給水及びボイラ水-試験方法 H1101 電気銅地金分析方法 K0102 工場排水試験方法 K0160 表面化学分析-シリコンウェーハ表面からの金属の化学的回収方法及び全反射蛍光X線(TXRF)分析法による定量方法 L1013 化学繊維フィラメント糸試験方法...
1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) ...