TXRF与ICP-MS在测试数据上会有一定的区别。ICP-MS的检出限通常比TXRF低1~2个量级,但ICP-MS难以测定由空气引入的某些元素,如N和O,且对于H、F、P和S在等离子体内离子化的几率较低。另外,ICP-MS比较适合分析液体或溶液样品,对于固体样品需先消化或溶解成悬浮液,可能带来分析元素的丢失和污染。而TXRF则可直接分析...
英格尔检测深耕硅晶圆金属分析行业多年,常用的表面污染分析监测技术有VPD-ICP-MS与TXRF。英格尔通过数据整合,将展示国内外相关的的硅晶圆金属污染监测能力和方案。 英格尔检测 英格尔硅晶圆金属污染监测常用的分析技术是和VPD-ICP-MS。英格尔根据仪器类型、分析方法等实际情况,制定了相应的硅晶圆金属污染监测方案。 图一....
TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) TOF-SIMS能进行全元素检测,但是测试中标定定量太复杂。 3.ICPMS(inductively coupled plasma mass spectromet...
为检测晶圆表面这些超微量的金属离子，目前常见的技术手段包括TXRF（全反射X射线荧光光谱仪）、TOF-SIMS（时间飞行二次离子质谱）和ICPMS（电感耦合等离子体质谱）。TXRF适用于检测重金属，但对某些轻金属元素如钠、镁、铝等的检测能力有限。TOF-SIMS能进行全元素检测，但标定和定量较为复杂。ICPMS几乎可以...
1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) ...
1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) ...
英格尔硅晶圆金属污染监测常用的分析技术是和VPD-ICP-MS。英格尔根据仪器类型、分析方法等实际情况,制定了相应的硅晶圆金属污染监测方案。 图一.硅晶圆金属污染监测方案 英格尔TXRF与VPD-ICP-MS检测下限比较 TXRF是高通量分析的理想选择,因其测量原理基于电子束与硅晶圆表面的相互作用,无需任何化学前处理。该技术允许在...
S2 PICOFOX 光谱分析解决方案 TXRF Innovation with Integrity S2 PICOFOX – 第一次采用X荧光 实现真正的微量分析! 您需要了解环境XRF是非常复杂的元素分析方样品中微量 元素法吗? 的浓度吗? 您仅有非常少量的生物样品可供 完全不是!S2 PICOFOX 光谱仪设计紧 分析吗?您觉得日常分析时样品 制凑,可以车载移动进行...
1.TXRF(total reflection X-ray luorescence全反射X射线荧光光谱仪) TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(time of flight secondary ion mass spectrometry时间飞行二次离子质谱) ...
TXRF因为是X射线作为荧光的激发源,所以对于某些轻金属元素像Na、Mg、Al等超微量存在的离子无法检测出来,一般适用于重金属。 2.TOF-SIMS(时间飞行二次离子质谱) TOF-SIMS能进行全元素检测,但是测试中标定定量太复杂。 3.ICPMS(电感耦合等离子体质谱) ICP-MS几乎可分析几乎地球上所有元素(Li-U)该技术是80年代发展...