用于oled应用的pecvd hmdso膜的等离子体固化的制作方法【技术领域】[0001] 本发明的实施方式总体涉及用于形成有机发光二极管(0LED)器件的方法,更具 体地涉及用于封装0LED结构的方法。【背景技术】[0002] 0LED用于电视屏幕、计算机监视器、移动电话、用来显示信息的其他手持设备等的 制造。与液晶显示器(IXD),0LED...
本发明涉及用于OLED应用的PECVD HMDSO膜的等离子体固化.本发明描述了一种用于形成OLED器件的方法.具有夹在阻挡层之间的缓冲层的封装层沉积在OLED结构上.所述缓冲层沉积在第一阻挡层上,并在低于100摄氏度的温度下利用含氟等离子体进行固化.接着,所述第二阻挡层沉积在所述缓冲层上.J·J·陈...
注册 待分类 > 待分类 > HMDSO/H2等离子体化学气相沉积非晶包覆纳米α-SiC薄膜的实验研究 下载文档 收藏 打印 转格式 115阅读文档大小:32.0K10页csoan上传于2014-07-06格式:DOC PECVD原理--等离子体增强化学气相沉积技术基础 热度: 等离子体化学气相沉积合成石英玻璃的基础研究(精品论文) ...
关键词: MgZnO plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) silicones silicon oxide thin film transistor DOI: 10.1002/ppap.201300107 被引量: 12 年份: 2014 收藏 引用 批量引用 报错 分享 全部来源 求助全文 www.ingentaconnect.com 相似文献 参考文献 引证文献...
关键词: FTIR spectroscopy HMDSO OES PECVD powder DOI: 10.1002/ppap.201000052 年份: 2011 收藏 引用 批量引用 报错 分享 全部来源 求助全文 Wiley 相似文献 参考文献 引证文献On the Powder Formation in the Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process for the Deposition of SiOx Barrier Coatings ...
用于OLED应用的PECVD HMDSO膜的等离子体固化本发明描述了一种用于形成OLED器件的方法.具有夹在阻挡层之间的缓冲层的封装层沉积在OLED结构上.所述缓冲层沉积在第一阻挡层上,并在低于100摄氏度的温度下利用含氟等离子体进行固化.接着,所述第二阻挡层沉积在所述缓冲层上.J·J·陈...
用于oled应用的pecvd hmdso膜的等离子体固化本发明描述了一种用于形成OLED器件的方法.具有夹在阻挡层之间的缓冲层的封装层沉积在OLED结构上.所述缓冲层沉积在第一阻挡层上,并在低于100摄氏度的温度下利用含氟等离子体进行固化.接着,所述第二阻挡层沉积在所述缓冲层上.J・J・陈...
Several SiO 2 films were deposited on stainless steel substrate by means of a low-temperature HMDSO-PECVD process under different conditions. Adhesion to substrate was determined by scratch testing and the influence of metallic interlayers deposited by magnetron sputtering was investigated. Electrical ...
Polishing of high dielectric constant SiOC layer deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) is studied. Content of carbon changes from 0.35 to 0.50 with varying CH_4 gas flow rate from 0 to 300 sccm in this layer. Dielectric constant varies from 3.3 to 4.7 with this ...
本研究採用hexamethyldisiloxane (HMDSO) 電漿輔助化學氣相 沉積 (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) 於Mixed cellulose esters (MCE) 基材,製備SiOxCyHz/MCE 電漿披覆膜作為氣 體分薄膜,此法因為單體本身需具有飽和鍵結或其他反應性官 能基,又具有穩定的物化性,加上對基材具有好的附著性且影響 ...