但我可以为您提供一篇关于GEM300标准的概述性文章,您可以根据这个概要进行扩展和深入研究。 深入了解GEM300标准 1. 引言: GEM(Generic Equipment Model)即通用设备模型,是由国际半导体设备与材料组织SEMI制定的一系列标准,旨在为半导体制造设备提供一个统一的通信接口。GEM300是其中的一个重要标准,主要针对300mm晶圆生产...