TEM 的测试原理是利用透过样品的电子进行成像和结构分析，由于电子的穿透能力较弱，样品的厚度、导电性、磁性和分散性等特征对测试结果的好坏起到直接的影响。因此，透射电镜的制样更加复杂和精细。 TEM 的制样原则是：简单、不破坏样品表面、获得尽量大的可观测薄区。常用的制样方法分可分为粉末样品制样法和块状样...
定位精准，可以在特定区域进行提取TEM样品进行透射观察；效率高，前期准备工作比较简单，不用把样品磨抛到几十微米的厚度再减薄，整个制样过程，基本2~3个小时就可以完成；可控性强，成功率高，规避了常规的离子减薄或者电解双喷制备TEM样品过程中的不确定性因素。局 限 性 可供透射观察的薄区区域比较小，一般只有5...
定位精准,可以在特定区域进行提取TEM样品进行透射观察; 效率高,前期准备工作比较简单,不用把样品磨抛到几十微米的厚度再减薄,整个制样过程,基本2~3个小时就可以完成; 可控性强,成功率高,规避了常规的离子减薄或者电解双喷制备TEM样品过程中的不确定性因素。 局限: 可供透射观察的薄区区域比较小,一般只有5um长,3...
今天我们来聊聊FIB-TEM样品制备的整个流程。其实这个过程还挺复杂的,但只要一步步来,也没什么大不了的。下面我就详细给大家讲解一下。 第一步:找到目标位置并喷Pt保护 🔍 首先,你需要找到你想要观察的目标位置。然后,在这个位置上喷上一层Pt(就是那个突起的长条形状),这样可以保护样品不被离子束轰击损坏。 第...
透射电子显微镜（TEM）的工作原理是利用加速和聚焦的电子束投射到极薄的样品上，电子在样品中与原子发生碰撞后改变方向，从而产生立体角散射。这种散射的效果与样品的密度和厚度紧密相关，进而形成明暗不同的影像。透射电镜的分辨率极高，可达1～2nm，放大倍数更是高达几万至百万倍，这使得它能够观察到的结构远小于光学...
使用FIB制备TEM薄片样品要怎么做？答：常规过程可以概括为6个步骤。1.选择感兴趣的区域、镀上保护层 利用SEM可以在样品材料表面精确选择制样方向和感兴趣区域（ROI），然后利用FIB结合沉积气体进行保护层电镀，避免离子处理过程中ROI被过度切割。2.保护层两侧挖槽 利用FIB对保护层的两侧挖一定的空间深度并将ROI取样薄片...
报告名称:FIB-TEM样品制备技术 报告嘉宾:李老师 测试狗FIB资深工程师 课程大纲: 1.样品前处理 根据样品导电性好坏确定是否需要喷金或喷铂处理 2.样品定位 通过E-Beam确定样品的目标位置 3.蒸镀保护层 根据样品成分选择合适的材料在样品的目标区域蒸镀保护层 ...
优化FIB制样策略 1. 气体辅助蚀刻：虽然提高了研磨速率，但增加了结晶-非晶界面的粗糙度，可能进一步损害TEM图像。2. 低能量FIB：在这些能量下，蚀刻速率和位置分辨率会受到影响，但束能量的减少可以使损伤深度最小化。3. 氩离子研磨精修：原始的FIB损伤层，可以通过氩离子精修去除，去除的效果取决于氩离子的能量、...
FIB-SEM制备TEM薄片流程 图2 利用FIB-SEM制备透射电镜薄片流程 01 利用 SEM 分析找到感兴趣的区域，表面尽量平整。选定目标微区( 长×宽约为 15×2 μm) ，并在该微区内选定一特征点置于画面中心，倾转样品台至样品表面与离子束垂直( ～ 54°) 。为了避免在此过程中离子束对样品表面的“误伤”，通常还需...
报告名称:FIB-TEM样品制备技术 报告嘉宾:李老师 测试狗FIB资深工程师 课程大纲: 1.样品前处理 根据样品导电性好坏确定是否需要喷金或喷铂处理 2.样品定位 通过E-Beam确定样品的目标位置 3.蒸镀保护层 根据样品成分选择合适的材料在样品的目标区域蒸镀保护层 ...