摘要 结合了聚焦离子束与扫描电子显微镜技术的FIB-SEM双束系统，以其独特的同步切割与实时监控能力，成为微电子领域的关键工具。本文深入分析了该系统在PCB和IC载板缺陷检测的多种关键应用，涵盖了盲孔底部的精细评估、杂质失效的详尽分析，以及晶体结构的深入探究。技术 随着电子消费品市场的迅猛发展，PCB和IC载板正朝...
本文首先对FIB-SEM双束系统的运行机制进行了概述，并进一步探讨了它在PCB和IC载板缺陷检测中的多样化应...
结合了聚焦离子束与扫描电子显微镜技术的FIB-SEM双束系统,以其独特的同步切割与实时监控能力,成为微电子领域的关键工具。本文深入分析了该系统在PCB和IC载板缺陷检测的多种关键应用,涵盖了盲孔底部的精细评估、杂质失效的详尽分析,以及晶体结构的深入探究。 技术 随着电子消费品市场的迅猛发展,PCB和IC载板正朝着更紧凑...
FIB-SEM(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope)双束系统是集聚焦离子束和扫描电子显微镜与一体的系统,其最大的优势是可以实现离子束切割或微加工的同时用电子束实时观察的功能.主要介绍FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的常见应用,如盲孔孔底分析,杂物失效分析和晶体结构分析.霍发燕电子工艺技术...
FIB-SEM双束系统在PCB及IC载板缺陷检测中的应用 摘要 结合了聚焦离子束与扫描电子显微镜技术的FIB-SEM双束系统,以其独特的同步切割与实时监控能力,成为微电子领域的关键工具。本文深入分析了该系统在PCB和IC载板缺陷检测的多种关键应用,涵盖了盲孔底部的精细评估、杂质失效的详尽分析,以及晶体结构的深入探究。
结合了聚焦离子束与扫描电子显微镜技术的FIB-SEM双束系统,以其独特的同步切割与实时监控能力,成为微电子领域的关键工具。本文深入分析了该系统在PCB和IC载板缺陷检测的多种关键应用,涵盖了盲孔底部的精细评估、杂质失效的详尽分析,以及晶体结构的深入探究。 技术 随着电子消费品市场的迅猛发展,PCB和IC载板正朝着更紧凑...
结合了聚焦离子束与扫描电子显微镜技术的FIB-SEM双束系统,以其独特的同步切割与实时监控能力,成为微电子领域的关键工具。本文深入分析了该系统在PCB和IC载板缺陷检测的多种关键应用,涵盖了盲孔底部的精细评估、杂质失效的详尽分析,以及晶体结构的深入探究。