FIB-SEM双束系统由离子源、离子光学柱、束描画系统、信号采集系统和样品台五部分构成。离子源在顶端产生带正电的离子，通过静电透镜和偏转装置实现对样品的可控扫描。样品加工通过加速离子轰击样品实现，产生的二次电子和离子由探测器收集用于成像。为保证离子束不受气体分子影响，样品腔和离子束镜筒需在高真空条件下工...
FIB-SEM双束系统由离子源、离子光学柱、束描画系统、信号采集系统和样品台五部分构成。离子源在顶端产生带正电的离子,通过静电透镜和偏转装置实现对样品的可控扫描。样品加工通过加速离子轰击样品实现,产生的二次电子和离子由探测器收集用于成像。为保证离子束不受气体分子影响,样品腔和离子束镜筒需在高真空条件下工作。
本文主要介绍双束系统基本结构、工作原理及在材料科学上的典型应用。1.双束聚焦离子束系统基本构成：双束聚焦离子束系统可简单地理解为是单束聚焦离子束和普通SEM之间的耦合。单束聚焦离子束系统包括离子源，离子光学柱，束描画系统，信号采集系统，样品台五大部分。离子束镜筒顶部为离子源，离子源上施加强大电场提取带...
结合聚焦离子束(FIB)技术和扫描电子显微镜(SEM)的FIB-SEM双束系统,通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探测器以及可控样品台等附件,已发展成为一个能够进行微观区域成像、加工、分析和操控的综合分析工具。该系统的应用已经从半导体行业扩展到材料科学、生命科学和地质学等多个领域。 本文带你了解FIB-SEM双束系统...
1.双束聚焦离子束系统基本构成: 双束聚焦离子束系统可简单地理解为是单束聚焦离子束和普通SEM之间的耦合。单束聚焦离子束系统包括离子源,离子光学柱,束描画系统,信号采集系统,样品台五大部分。离子束镜筒顶部为离子源,离子源上施加强大电场提取带正电荷离子,离子经静电透镜与偏转装置聚焦偏转后实现样品可控扫描。 样品...
FIB技术通过加速并聚焦液态金属离子源产生的离子束于样品表面，生成二次电子信号以形成电子图像，或者利用高电流离子束在样品表面进行蚀刻和微纳结构加工。这一过程通常结合物理溅射和化学气体反应，以选择性地蚀刻或沉积金属和绝缘层。典型FIB-SEM双束设备内部示意图 微电子领域的应用实例 FIB技术能够精确地揭示器件特定...
聚焦离子束扫描电镜双束系统（FIB-SEM）是一种先进的微纳加工和成像技术，它在材料科学研究中扮演着不可或缺的角色。本文将详细介绍FIB-SEM在材料研究中的应用，展示其在微观世界中的多面性和强大功能。定点剖面形貌与成分分析 FIB-SEM系统能够对材料进行精确的定点切割和分析，从而揭示材料内部的微观结构和成分。以...
技术基础 FIB-SEM双束系统通过集成气体沉积装置、纳米操纵仪、多种探测器以及可控制的样品台等附件，实现了微区成像、加工、分析和操纵的一体化。这种技术已广泛应用于半导体、材料科学、生命科学和地质学等多个领域。技术规格 Zeiss Auriga Compact FIB-SEM的主要技术参数包括：FEI Helios Nanolab 450S的特点在于：使...
结合聚焦离子束(FIB)技术和扫描电子显微镜(SEM)的FIB-SEM双束系统,通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探测器以及可控样品台等附件,已发展成为一个能够进行微观区域成像、加工、分析和操控的综合分析工具。该系统的应用已经从半导体行业扩展到材料科学、生命科学和地质学等多个领域。