EBARA荏原EV-M302N进口干式真空泵 荏原(EBARA) 高温技术支持高负荷工艺,在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能,可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料,还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容,可以处理各种高负荷工艺。 单位...
EBARA荏原高负载工艺用干式真空泵EV-M302N产品介绍EBARA 高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。由于其高节能性能,能够支持高负载流程,同时节省能源。另有排量110,000L/min的大排量型号,标配耐腐蚀材料。凭借针对工艺条件量身定制的丰富产品阵容,我们可以应对各种高负载工艺。 详...
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设备名称 单位 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF 排气速度 L/min 1,800 10,000 20,000 30,000 50,000 50,000 80,000 80,000 110,000 极限压力 Pa 5.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 连接口径 吸气口 NW40 ISO100 ISO100 ISO...
EBARA荏原EV-M302N进口干式真空泵 荏原(EBARA) 高温技术支持高负荷工艺,在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能,可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料,还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容,可以处理各种高负荷工艺。