型号 EV-M20N EV-M型 节能、高负荷工艺的选择的干式真空泵 产品介绍 以荏原高温技术,在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中,满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能,同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配性材料,提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容,能够满足大...
模型 单元 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF 抽速 升/分钟 1,800 10,000 20,000 30,000 5万 5万 8万 8万 110,000 极限压力 出色地 5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 连接直径 进气口 西北40 感光度100 感光度100 感光度100 ...
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