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在半导体制造领域,静电吸盘(ESC)是一种至关重要的非接触式夹持工具。它凭借其独特的设计原理,在PVD、CVD、刻蚀等多道工序中发挥着固定晶圆的关键作用。ESC由陶瓷表面、电极、加热器及底板等精心构造而成,当电极通电后,会迅速产生一个强大的电场。这一电场能促使晶圆表面的电荷重新分布,进而形成稳固的静电吸附力。这...
He气在静电吸盘和晶圆背面的流通可以分为两个部分(如图3),一部分通过静电吸盘表面层下的微流道流动(不直接接触晶圆)且循环流通,用于增强散热和控制ESC的气压,第二部分通过顶针孔或者静电吸盘表面的孔流动至晶圆背面,用于晶圆的散热以及晶圆吸附情况的反馈。通过...
静电吸盘(ESC)介绍 #芯片 #半导体 - Tom聊芯片智造于20240716发布在抖音,已经收获了27.8万个喜欢,来抖音,记录美好生活!
静电吸盘(ESC)是一种非接触式的夹持方式,它被广泛用在PVD,CVD,刻蚀等工序中固定晶圆。静电吸盘一般由陶瓷表面,电极,加热器,底板等组成。 当电极被施加电压时它产生一个强大的电场,电场的存在使晶圆表面的电荷重新分布形成一个吸附力,这种静电吸附力足以将晶圆牢牢固定在吸盘上,即使在高速旋转或其他加工过程中也不...
本吧热帖: 1-三分钟了解半导体陶瓷零部件-静电吸盘 2-陶瓷静电卡盘 3-日本大明化学高纯氧化铝 用于静电卡盘的陶瓷层及电极层 4-静电吸盘在显示面板及移动电子领域运用 5-嗨,欢迎来到本吧,您可以在此畅所欲言!
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ESC的结构 静电吸盘通常由disk,electrode,heater,baseplate组成,各组件的作用如下: Disk(盘): 这是静电吸盘的主要工作区域,晶圆直接与之接触并被吸附 Electrode(电极):电极用于产生所需的静电力,通过施加电压产生电场,从而使物体吸附在盘上。 Heater(加热器):加热器可用于控制静电吸盘的温度,这在许多半导体处理步骤中...
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