它的工作原理基于静电力的产生和利用。 ESC静电吸盘主要由静电电极和绝缘层构成。当电极通电后,靠近电极的绝缘层上产生了静电荷分布。由于静电力的存在,被吸附物体表面的离子和分子会受到静电力的作用而被吸附在绝缘层上,实现无接触的吸附效果。 静电力的产生主要依靠静电电极上的电压和电荷之间的关系。当电极通电时,...
静电吸盘,又称静电卡盘(ESC, E—Chuck),是一种利用静电吸附原理加持固定被吸附物的夹具,适用于真空和等离子体环境,主要作用是用于吸附超洁净薄片(如硅片),并使吸附物保持较好的平坦度,可以抑制吸附物在工艺中的变形,并能够调节吸附物的温度。 机械夹持:在早期的硅片加工中,习惯于采用传统机械行业中机械夹持方法,...
芯片制造里的静电吸盘(ESC) - 学习那些事于20240911发布在抖音,已经收获了412个喜欢,来抖音,记录美好生活!
引用以下说法原理:ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极, wafer 为电容的另一侧电极。库伦引力要大于wafer 背面用来降温的 He Flow 的的压力。 在实践中也可以看到其datalog,一般晶圆进入chamber之后,先产生clamp voltage(~3600-4000v),以保证wafer与ESC 之间吸附...