例如半导体和一些氧化物、 矿物等, 用EPMA的同轴光学显微镜可以直接观察可见光, 还可以用分光光度计进行分光和检测其强度来进行元素分析。阴极发光现象是了解物质结合状态与结晶状态, 是否含有杂质元素等最有效的手段。(5)特征 X 射线高能电子入射到样品时, 样品中元素的原子内壳层(如K、 L 壳层) 处于激发态,原子...
电子探针(EPMA)技术:深入探究其基本原理电子探针(EPMA)技术,作为一种重要的分析手段,在材料科学、地质学、生物学等多个领域发挥着不可或缺的作用。其基本原理在于利用聚焦的高能电子束与物质相互作用,通过测量产生的特征X射线、俄歇电子等物理信息,从而实现对物质成分、结构和形态的深入分析和研究。这一技术不仅...
电子探针(EPMA)是一种通过显微观察固体物质特性的仪器,主要用于对固体样品进行微区成分分析和形貌观察。它利用聚焦的高能电子束轰击样品表面,激发样品中的原子,产生各种信号,如二次电子、背散射电子、特征X射线等。这些信号被探测器捕获并转换成电信号,经过放大和处理后,最终在显示器上形成图像或谱线,从而实现对...
电子与固体的相互作用是电子探针(EPMA)分析的核心。当电子束击中样品表面,电子会连续穿透,并在其路径中与原子发生相互作用,导致能量、速度和方向发生变化。这种相互作用可以分为弹性过程和非弹性过程。在弹性过程中,电子与原子核相互作用,没有能量转换;而非弹性过程则产生二次电子、背散射电子、俄歇...
电子探针X射线显微分析仪(Electron Probe X-ray Micro-Analyzer,简写为EPMA或者EMA)简称为电子探针。作为一种在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展而来的高效率分析仪器,其通过电子束作用于试样微区上而产生的二次电子、背散射电子及X射线等信号,进行固体物质显微分析,包括微区成分、形貌和结构分析。不同于一般用...
epma原理EPMA的工作原理是利用聚焦电子束(典型能量= 5-30keV)轰击微体积样品并收集由各种元素物质发射的X射线。由于这些X射线的波长是发射物质的特征,因此可以通过记录WDS波谱(波长色散光谱)轻松识别样品组分。WDS波谱仪基于布拉格定律进行操作,并使用各种可移动的成型单晶作为单色仪。
一、原理 1.电子束与物质的相互作用 EPMA的核心在于使用聚焦的电子束(通常在0.5至1微米之间)轰击样品表面,电子与样品原子碰撞时,可以激发内层电子,使其跃迁到较高能级或被完全抛出,留下空位;随后,外层电子填充这些空位时会释放能量,以特征X射线的形式,每种元素的X射线特征波长是独一无二的,这为定性分析提供了基础...
电子探针X射线显微分析仪(EPMA)的简称。电子探针利用高能电子束激发分析试样,通过电子束与试样相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(um范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。
电子探针显微镜EPMA的原理及应用 EPMA与SEM的原理一致 但SEM一般与EDS搭配,分析元素快 EPMA常与波谱仪搭配,优势在于波长分辨率很高,分析的元素范围宽,定量比能谱仪准确,分辨率比EDS高。但相交能谱,波普的分析速度慢,X射线的利用率低 对于元素的分析一般是两者结合使用效果更佳...