电子探针X射线显微分析仪(Electron Probe X-ray Micro-Analyzer,简写为EPMA或者EMA)简称为电子探针。作为一种在电子光学和X射线光谱学原理的基础上发展而来的高效率分析仪器,其通过电子束作用于试样微区上而产生的二次电子、背散射电子及X射线等信号,进行固体物质显微分析,包括微区成分、形貌和结构分析。不同于一般用...
6电子探针显微分析的分析方法 6.1点分析 将电子探针固定在样品表面的待测点上,用能谱仪或者波谱仪对试样发射的X射线进行展谱,得到该点的X射线能量色散谱图或波长色散谱图。根据谱图上的峰位,可以得知各特征X射线的波长或能量,即可确定样品中所含元素的种类,即定性分析;在定性分析的基础上,通过测定各元素主要特征...