以下是一个常规的TEM中EDX元素分析的步骤: 1.样品制备:首先,需要制备好待测样品。根据需要测量的样品类型和大小,可以选择不同的样品制备方法,如制备薄片或直接使用粉末样品。 2.样品加载:将制备好的样品装置到透射电子显微镜的样品台上。确保样品处于平整且稳定的状态,以获得清晰的显微镜图像。 3.检查样品:在进行...
TEM中EDX元素分析步骤1、选择元素(markers下选择的伪彩图为应该含有全部元素的伪彩图,此时也应该包括Cu,ROI里面出来伪彩图为所分析的伪彩图)、点击automap的generate out,得到以下伪彩图(以钯负载的丝光沸石为例) 在上面选择后点击 中的Generate output,即可以得到伪彩图。如下图所示 2、点击工具栏的方框 ,框中...
【测试表征系列之TEM】能谱分析EDX-操作规范.pdf,能谱分析EDX 1. 开始菜单ProgramsEdax GenesisGenesis RTEM ,出现RTEM control界面。 2. 确定物镜光阑已经退出。 3. 调节放大倍数,使Mag.在SA倍以上(LA低倍下易探到Cu网,CPS值剧增);调节样品 位置,使其不要在铜网边缘
用波长色散进行分光的方法称为WDX(WavelengthDispersiveX-ray Spectroscopy)。EDX安装在 SEM 和 TEM/STEM 上。WDx不常用于LSI 失效分析.因为除非电子束量很大,否则无法检测到特征X射线。 通过设置X射线能谱的某一能量范围窗口,再使用电子束扫描样品,可以获得元素分布图。 用于元素分布图的EDX的空间分辨率,在连接到SEM...
如图3所示,电子枪发射的高能电子由电子光学系统中的两级电磁透镜聚焦成很细的电子束来激发样品室中的样品,从试样产生的X射线通过测角台进入到探测器中,一般使用高纯单晶硅中掺杂有微量锂的半导体固体探测器(solid state detector,SSD)。该探测器作为一种固体电离室,当X射线入射时,在SSD中就会产生与这个X射线能量成...
本文旨在探讨TEM-EDX中波峰强度的概念、作用机制以及影响因素,以帮助读者更深入地理解这一分析技术中重要的参数。通过对波峰强度的研究,可以更好地指导实验工作和数据分析,提高样品分析的准确性和可靠性。同时,通过对波峰强度的探讨,也可以为TEM-EDX技术在材料科学、生物医学等领域的应用提供一定的参考和指导。希望本文...
TEM和EDX联用是能区分开的，EDX不光能鉴别元素种类，还能检测结合能，A-A，B-B,A-B结合能存在不同，这样就可以区分三个物质temedx(站内联系TA)既然XRD能得出有金属和合金的结论，是不是说这两个相都是已知的，有相应的PDF卡片？如果这样，可以找出相应的颗粒，通过HRTEM（高分辨TEM）图像，对颗粒...
扫描透射电子显微镜(STEM)是透射电子显微镜(TEM)的一种发展。近些年,伴随球差校正器的引入,STEM的空间分辨率达到了亚埃米级,已经可以实现单个原子柱成像观察。本文从STEM的发展史、仪器的构成及工作原理、成像模式、实际应用等方面,非常详实地讲解了STEM的相关知识。文末介绍了STEM的优缺点并将其与TEM、SEM的性能相比较...
2. TEM的能谱误差比SEM的小。 因为很多人知道TEM的分辨率高,所以认为TEM所配能谱的分辨率高于SEM。这可以说是一个非常错误的论断。 同样厂家的能谱,同一时期的产品,用于TEM的分辨率通常要低于SEM几个eV,诚然,TEM可能会观察到更小的细节,但这只是能谱分析范围的精准,并不代表能谱的分辨率高。SEM的样品比较容易制...
金鉴实验室 LED芯片TEM-EDX 失效分析 图1 EDX Location（能谱分析EDX） 图2 EDX-01（能谱分析EDX）图3 EDX-02（能谱分析EDX）图4 EDX-03（能谱分析EDX）图5 EDX-04（能谱分析EDX）图6 EDX-05 （能谱分析EDX）