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产品简介:凭借图像质量和通过一次测试获得完整缺陷分布图的能力,eDR7380电子束晶圆缺陷检视系统可以在产品开发中更加迅速地捕获缺陷源,同时在生产制造中更快地检测偏移并且获取更为准确及可操作的数据。该系统能够对脆弱的EUV光刻工艺层进行检视