EBI设备源自于SEM,其工作原理同样基于电子束与物质相互作用产生的二次电子(主要)/背散射电子效应,这些二次电子/背散射电子的数量和能量分布与材料表面的物理和化学性质密切相关,特别是与表面的缺陷情况有关。通过收集和分析这些二次电子/背散射电子,可以构建出待测元件表面的电压反差影像,从而实现对缺陷的检测。 2. ...
一、引言 EBI(电子束检测,ElectronsBeamInspection)是一种高精度、高灵敏度的检测技术,广泛应用于半导体元件的缺陷检验中。该技术以聚焦电子束作为检测源,通过独特的检测原理,实现对半导体元件电性缺陷和形状缺陷的有效识别。 二、技术基础 EBI检测技术的核心在于利用聚焦电子束与待测元件表面的相互作用。当电子束直射待...
EBI(电子束检测,ElectronsBeamInspection)是一种高精度、高灵敏度的检测技术,广泛应用于半导体元件的缺陷检验中。该技术以聚焦电子束作为检测源,通过独特的检测原理,实现对半导体元件电性缺陷和形状缺陷的有效识别。 二、技术基础 EBI检测技术的核心在于利用聚焦电子束与待测元件表面的相互作用。当电子束直射待测元件时,...
例如EBI由于不正常操作直接拍急停或放倒的瓶子进入设备,在运行中突然急停会导致瓶子在输送带上错位并报警,如果有异物瓶子在这段范围而操作工又没有手动拿出瓶子直接复位开机,这样就有流过去的风险。经过RCM分析,找到有可能影响的来源,工厂...
1 医用电气设备 第2-50部分:婴儿光治疗设备的基本安全和基本性能的专用要求 婴儿光治疗设备 预老化后的胆红素总辐照度Ebi查看商品检测报告作用:1、项目招投标:出具权威的第三方CMA/CNAS资质报告;2、上线电商平台入驻:质检报告各大电商平台认可;3、用作销售报告:出具具有法律效应的检测报告,让消费者更放心; 价格说明...
电子束检测设备EBI与扫描电子显微镜SEM在半导体检测领域各有侧重,但又相互关联、相互补充。 EBI是针对单一应用场景特殊优化过的SEM设备,通常使用额定加速电压,样品台减速控制落点电压和半内透物镜技术策略,主要用于半导体晶圆的缺陷检查,特别是内部线路中的电性缺陷。其利用二次电子/背散射电子成像技术捕捉并分析缺陷,能够...
一、 空瓶检测机(EBI)设计概要 1.1空瓶检测机应用领域 中国制造业的高速发展给工厂自动化带来的机遇。工厂的管理者已深刻地体会到一些关键环节的自动检测设备不仅能带来更高的效率,并且能更大限度地降低成本。随着市场竞争的加剧,啤酒饮料制造企业越来越清楚地认识到,产品质量的好坏,是决定企业生产和经营成败的关键。随...
东方晶源在电子束检测、量测领域已深耕多年并成功推出多款设备，取得重大突破。除此次获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸关键尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于去年6月进入产线验证，目前完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异满足要求，性能持续改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：...
EBI 10温度压力检测仪应用场合:过程温度压力连续记录;高压灭菌器及加热烘箱;过程验证;无线传输。 详细介绍 EBI 10温度压力检测仪 技术参数:型号:EBI 10-TP221通道数目:2 探头:Pt 1000,外置,轴向Ø 1,5 mm / L = 500 mm压电式传感器温度补偿 测试量程(温度):0°C ... 150°C 测试量程(压力):1 mbar...
7月9日,由中国集成电路创新联盟主办的”2022集成电路产业链协同创新发展交流会”以六大会场加网络连线的方式同步举行。东方晶源董事长俞宗强博士(左四)、总经理蒋俊海先生受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业技术创新奖(简称“IC创新奖”),东方晶源凭借电子束缺陷检测设备(EBI),斩获技术创新奖。