EBI(电子束检测,ElectronsBeamInspection)是一种高精度、高灵敏度的检测技术,广泛应用于半导体元件的缺陷检验中。该技术以聚焦电子束作为检测源,通过独特的检测原理,实现对半导体元件电性缺陷和形状缺陷的有效识别。 二、技术基础 EBI检测技术的核心在于利用聚焦电子束与待测元件表面的相互作用。当电子束直射待测元件时,大量
该技术以聚焦电子束作为检测源,通过独特的检测原理,实现对半导体元件电性缺陷和形状缺陷的有效识别。 二、技术基础 EBI检测技术的核心在于利用聚焦电子束与待测元件表面的相互作用。当电子束直射待测元件时,大量的电子瞬间累积于元件中,改变了元件的表面电位。这一过程激发出二次电子,这些二次电子携带了关于元件表面...