3-5 CVD與PVD之比較3-5 CVD与PVD之比较 1.選材:1.选材: 化學蒸鍍-裝飾品、超硬合化学蒸镀-装饰品、超硬合金、陶瓷 物理蒸鍍-高溫回火之工、模具鋼物理蒸镀-高温回火之工、模具钢 2.蒸鍍溫度、時間及膜厚比較2.蒸镀温度、时间及膜厚比较 化學蒸鍍-1000℃附近,2~8小時,1~30μm(通常5~10μm)化学...
Precision 5000 Wafer Cassette Loadlocks Integrated Process Chambers Orienter / Degas Integrated Process Chambers Orienter / Degas CVD / PVD Process Chambers CVD / PVD Process Chambers Endura Endura HP/VHP • Endrua系統是根據P-5000系統的基本理念而設計的;它增加了dual loadlock以及階梯式抽真空的架構...
PVDCVD设备介绍 製程設備主機介紹 課程目的與大綱 •AMATSystem–Mainframe+ProcessChamber+Remote–Subsystem •了解次系統觀念與次系統工作原理與應用–廠務設計(facility)–主機系統輔助設備–反應室輔助設備 •大綱 –安全(SAFETY/LOCKOUTTAGOUT)–概說(Introduction)–主機平台(MAINFRAME)–廠務設施設計(System...
7、sChambersOrienter / DegasIntegratedProcessChambersOrienter / DegasCVD / PVDProcessChambersCVD / PVDProcessChambersEndura Endura HP/VHP Endrua系統是根據P-5000系統的基本理念而設計的;它增加了dual loadlock以及階梯式抽真空的架構設計,如此一來,Endura就可以提供物理氣相沉積技術所需的超高真空(ultra-high va...
薄膜沈積依據沈積過程中,是否含有化學反應的機制,可以區分為物理氣相沈積(Physical Vapor Deposition,簡稱 PVD)通常稱為物理蒸鍍及化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition,簡稱 CVD)通常稱為化學蒸鍍。 2. APCVD 系統的優點是具有高沈積速率,而連續式生產更是具有相當高的產出數,因此適合積體...
PVD CVD 设备 製程設備主機介紹 課程目的與大綱 •AMATSystem–Mainframe+ProcessChamber+Remote–Subsystem•了解次系統觀念與次系統工作原理與應用–廠務設計(facility)–主機系統輔助設備–反應室輔助設備 •大綱 ––––安全(SAFETY/LOCKOUTTAGOUT)概說(Introduction)主機平台(MAINFRAME)廠務設施設計(SystemFacilities)...
薄膜沈積依據沈積過程中,是否含有化學反應的機制,可以區分為物理氣相沈積(Physical Vapor Deposition,簡稱PVD)通常稱為物理蒸鍍及化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition,簡稱CVD)通常稱為化學蒸鍍。 2. APCVD系統的優點是具有高沈積速率,而連續式生產更是具有相當高的產出數,因此適合積體電路製程。APCVD系統的其他...
3-5 CVD與PVD之比較3-5 CVD与PVD之比较 1.選材:1.选材: 化學蒸鍍-裝飾品、超硬合化学蒸镀-装饰品、超硬合金、陶瓷 物理蒸鍍-高溫回火之工、模具鋼物理蒸镀-高温回火之工、模具钢 2.蒸鍍溫度、時間及膜厚比較2.蒸镀温度、时间及膜厚比较 化學蒸鍍-1000℃附近,2~8小時,1~30μm(通常5~10μm)化学...
PVDCVD设备介绍(PPT 45页)製程設備主機介紹 課程目的與大綱 •AMATSystem–Mainframe+ProcessChamber+Remote–Subsystem •了解次系統觀念與次系統工作原理與應用–廠務設計(facility)–主機系統輔助設備–反應室輔助設備 •大綱 –安全(SAFETY/LOCKOUTTAGOUT)–概說(Introduction)–主機平台(MAINFRAME)–廠務設施設計(...
PVDCVD设备介绍 製程設備主機介紹 課程目的與大綱 •AMATSystem–Mainframe+ProcessChamber+Remote–Subsystem •了解次系統觀念與次系統工作原理與應用–廠務設計(facility)–主機系統輔助設備–反應室輔助設備 •大綱 –安全(SAFETY/LOCKOUTTAGOUT)–概說(Introduction)–主機平台(MAINFRAME)–廠務設施設計(System...