CMP 设备中几种下压力施加结构简介 周国安,詹阳,李伟,胡兴臣,陈威 【摘要】摘要:分析了旋转臂式结构的下压力特点,指出其采用最直接的杠 杆原理,是第一代 CMP 机型 IPEC372M 的典型结构,适用于 0.8 μm 的技术 节点,并指出其局限性;后分析了桥式下压力结构,加了垂直于抛 CMP...
专利摘要显示,本申请涉及一种 OCT 成像方法、电子设备和计算机程序产品。所述方法包括:控制 OCT 成像设备沿被测物体的轴向方向的多个位置采集 B‑scan 图像;根据预设间隔对所述 B‑scan 图像进行配对以获得图像对,计算所述图像对的相对位移信息,并根据所述相对位移信息确定目标图像对;根据所述目标图像对确定沿所...
专利摘要显示,本申请涉及一种 OCT 成像方法、电子设备和计算机程序产品。所述方法包括:控制 OCT 成像设备沿被测物体的轴向方向的多个位置采集 B‑scan 图像;根据预设间隔对所述 B‑scan 图像进行配对以获得图像对,计算所述图像对的相对位移信息,并根据所述相对位移信息确定目标图像对;根据所述目标图像对确定沿所...