“CMP”源自ChinaMobilePower（中国移动电力）的英文缩写。CMP命名初衷意为要将“中国制造”的移动能源产品推向海外。品牌建设初期，一直致力于海外移动电力市场的开拓和发展，秉承“为客户利益而不断创新”的品牌理念，长期专注于移动电力系统与新能源方面的创新与研发，并将数十项研发专利转化为相关产品，在移动电力系统...
在CMP设备方面,正在由单头、双头抛光机向多头抛光机发展,结构逐步由旋转运动结构向轨道抛光方法和线性抛光技术方面发展;在CMP研浆方面,关键是要开发新型研磨液,能提供高的磨蚀速率,好的平整度,高的选择性,表面均一性,利于后续清洗过程,使得磨料粒子不能残留在芯片表面影响集成电路性能;在应用方面,CMP技术将在陶瓷、...
CMP 主要用于衔接不同薄膜工艺,根据工艺段可分为前段制程(FEOL)和后段制程(BEOL),前段制程工艺主要为浅沟槽隔离 CMP 和多晶硅CMP,后段制程工艺主要为层间介质CMP、金属间介质CMP及金属层铜互连CMP等。 CMP在芯片制造过程中的应用有ILD CMP、STI CMP、W CMP、Cu CMP等。下图展示了在逻辑电路中CMP应用的地方。尤...
CMP，全称为Chemical Mechanical Polishing，即化学机械抛光，是半导体制造中用于去除晶圆表面多余材料，实现全局平坦化的核心技术。在半导体制造过程中，晶圆制造主要包括光刻、刻蚀、薄膜生长、扩散、离子注入、化学机械抛光、金属化等七个相互独立的工艺流程。其中，CMP作为关键制程工艺之一，通过化学腐蚀与机械研磨的协同作用...
CMP是一款免费的在线Flash音乐播放器，全称为CenFun Music Player，简称为CMP。基本介绍 "CMP"。CMP致力于提供最佳在线音乐播放解决方案，支持的音频视频格式主要有MP3,FLV,MP4,并可以通过网页JS接口实现WMP(Windows Media Player)所支持的格式播放，如wma等。主要功能特色有列表式播放(自定义音乐专辑和列表)，MP3可视化...
CMP，是Common Middle Point的缩写，即CMP道集，是指把不同炮集中拥有共中心点的道抽取出来，形成一个新的集合。定义 地震资料采集中，若地下界面为水平界面，则共反射点在地面的投影必为炮集中拥有共反射点接受距的中心点，因此称为共中心点。把不同炮集中拥有共中心点的道抽取出来，形成一个新的集合，称之为...
CMP 全称为 Chemical Mechanical Polishing，即化学机械抛光，是普通抛光技术的高端升级版本。其中单晶硅片制造过程和前半制程中需要多次用到化学机械抛光技术。与此前普遍使用的机械抛光相比，化学机械抛光能使硅片表面变得更加平坦，并且还具有加工成本低及加工方法简单的优势，因而成为目前最为普遍的半导体材料表面平整技术...
化学机械研磨 (CMP),全名Chemical Mechanical Polishing或Chemical Mechanical Planarization,是一种全局平坦化工艺,几乎每一座晶圆厂都会用到,在现代半导体制造中十分重要。 cmp工艺是什么? 顾名思义,cmp不是单纯的物理磨削。它结合了化学腐蚀和机械研磨两种方式,以达到去除表...
CMP设备，即化学机械抛光设备，是半导体制造过程中不可或缺的关键工艺装备。它扮演着确保晶圆表面达到纳米级别平整度的核心角色，为集成电路的生产提供了高效率和高质量的晶圆表面处理解决方案。本文将深入探讨CMP设备的概念、技术原理、应用领域、行业现状以及发展趋势，以期为读者提供全面而深入的了解。CMP设备集合了摩擦...