CDSEM,全称是临界维度扫描电子显微镜(Critical Dimension Scanning Electron Microscope),是一种高精度的电子显微镜设备。 用途:CDSEM主要用于测量和分析半导体器件、纳米材料以及其他微小结构的尺寸和形状。通过高能量的电子束扫描样品表面,收集二次电子或背散射电子等信号,形成样品表面的高分辨率图像。这些图像可以用于精确测...
型号 CD-SEM 规格 CD 加工定制 是 新旧程度 二手 技术方案 是 是否现货 是 用途 晶圆测量 适用晶圆尺寸 200nm,300nm 测量范围 50nm~2µm 重复性 ±1%或2nm 晶圆吞吐量 24/h 放大倍数 1000 ~ 300kx 加速电压 300~1600V 主机尺寸 1200*2007*1900mm 显示装置 600*1496*1850mm 品牌 ...
7.平衡态和非平衡态模拟:cdsem可以模拟材料在平衡态和非平衡态下的结构演化。在平衡态下,材料的结构演化遵循热力学平衡原理;而在非平衡态下,材料的结构演化受到外界条件的强烈影响,如温度、压力等。 8.参数优化与反馈控制:通过模拟不同工艺参数下的材料结构演化,可以分析不同工艺参数对材料性质的影响。通过优化工艺...
CDSEM: 临界尺寸扫描电子显微镜是在SEM基础上发展而来的高精度测量设备。 特别设计用于精确测量半导体器件和其他微纳结构的关键尺寸(如线宽、间距等)。 二、技术特性 分辨率与精度: SEM的分辨率通常较高,但测量精度可能受到多种因素的影响,如电子束的发散、样品的充电效应等。 CDSEM则具有更高的测量精度和重复性,通...
从而避免了传统 CDSEM 量测过程中重复校准和对焦步骤，大幅减少量测时间，大大提升了 CDSEM 机台的晶圆吞吐量，提高了机台产能。天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查...
与通用 SEM 相比,CD-SEM 有三大特点:CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低,为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤,这样有利于晶圆进行下一步工序;CD-SEM注重于高精度和高速度的尺寸测量,通常配备有专门设计的电子枪、透镜和检测器,以实现在高吞...
2023年12月14日,苏州矽视科技有限公司首台关键尺寸量测设备(CDSEM)出机,该设备为苏州矽视科技自主研发,其中最重要的电子光学系统具有自主的核心技术,完全摆脱进口,主要性能指标媲美国外同类产品,为国产替代再添新军。 苏州矽视科技有限公司于2021年6月成立,专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务,致力于自...
CDSEM原理 CDSEM是Critical Dimension Scanning Electron Microscope的缩写,直接翻译成中文是关键尺寸扫描电子显微镜。它是一种测量微纳米级尺寸的仪器,被广泛应用于半导体、光刻、纳米技术等领域。 CDSEM的原理是利用电子束与物质相互作用的特性,通过对样品表面扫描,探测出电子束与样品反射、散射的电子,再通过电子探测器测...
1. 应用材料公司（Applied Materials Inc.）推出了一款新的电子束测量设备，名为VeritySEM10关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）测量系统。2. 该设备专门用于精确测量采用EUV和新兴的High-NA EUV光刻技术的半导体器件的关键尺寸，能够有效降低光刻工艺的成本。3. 与传统的CD-SEM相比，VeritySEM10设备以较低...
关键尺寸扫描电子显微镜(cdsem)是一种在半导体制程中用于测量晶圆上图案的关键尺寸(cd)的仪器,其工作原理是:从电子枪照射出的电子束通过聚光透镜汇聚,穿过开孔(aperture)到达测定对象的图案上,利用探测器捕捉放出的二次电子并将其变换为电信号,获得二维图像,以二维图像信息为基础高精度的测量出测定对象的关键尺寸。