2023年12月14日，联想创投被投企业--苏州矽视科技有限公司首台关键尺寸量测设备（CDSEM）出机，该设备为苏州矽视科技自主研发，其中最重要的电子光学系统具有自主的核心技术，完全摆脱进口，主要性能指标媲美国外同类产品，为国产替代再添新军。苏州矽视科技有限公司于2021年6月成立，专注于高端半导体晶圆量检测设备的...
金融界 2025 年 1 月 27 日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“CDSEM 快速量测方法、装置、介质、程序产品及终端”的专利，公开号 CN 119354109 A，申请日期为 2024 年 10 月。专利摘要显示，本申请提供 CDSEM 快速量测方法、装置、介质、程序产品及终端，通过引入量测位...
1.我们要知道CD SEM是啥意思吧 和 AMTHK ，CD 就是Critical Dimension临界尺寸，一般用于半导体的检测...
摘要 一种CDSEM机台的校准方法,属于半导体制造工艺设备技术领域。该发明提供的CDSEM机台的校准方法,采用多个FEM条件准备校准用的第一晶圆、第二晶圆,从而充分考虑了光刻机焦距漂移对CD尺寸的影响;并采用多次测量值的平均处理办法得到每个CDSEM的关键尺寸处理值,从而充分考虑了CDSEM机台自身的电荷效应影响。采用该方法...
一种CDSEM机台的校准方法,属于半导体 制造工艺设备技术领域。该发明提供的CDSEM机 台的校准方法,采用多个FEM条件准备校准用的 第一晶圆、第二晶圆,从而充分考虑了光刻机焦 距漂移对CD尺寸的影响;并采用多次测量值的平 均处理办法得到每个CDSEM的关键尺寸处理值, 从而充分考虑了CDSEM机台自身的电荷效应影 响。采用...
一种用于检测CDSEM机台的焦点偏移的检测晶圆,其特征在于,所述检测晶圆包括:衬底;氧化层,设置在所述衬底的上表面上,并形成间隔布置的多个氧化层单元;多晶硅层,设置在所述氧化层上,并形成与所述多个氧化层单元一一对应的具有预定器件宽度的多晶硅层单元;TaN层,覆盖在所述衬底裸露的上表面、各所述多晶硅层单元上表面...
一种CDSEM机台的校准方法,属于半导体制造工艺设备技术领域。该发明提供的CDSEM机台的校准方法,采用多个FEM条件准备校准用的第一晶圆、第二晶圆,从而充分考虑了光刻机焦距漂移对CD尺寸的影响;并采用多次测量值的平均处理办法得到每个CDSEM的关键尺寸处理值,从而充分考虑了CDSEM机台自身的电荷效应影响。采用该方法...查...
项目名称:中芯绍兴IGBT模组生产线项目第二十四批设备——CDSEM量测机台项目编号:0613-204022150350招标范围:CDSEM量测机台 1台招标机构:上海机电设备招标有限公司招标人:中芯集成电路制造(绍兴)有限公司开标时间:2020-03-25 09:30公示时间:2020-03-25 16:48 - 2020
7.一种用于检测CDSEM机台的焦点偏移的检测方法,其特征在于,所述方法包括: 提供权利要求1或2所述的检测晶圆; 利用所述CDSEM机台测量所述检测晶圆的器件宽度,所述器件宽度为所述预定器件宽度和覆盖在所述多晶硅层单元的侧表面上的TaN层的厚度之和,当所述器件宽度的测量结果出现异常表明所述CDSEM机台的焦点发生偏...
2023年12月14日,苏州矽视科技有限公司首台关键尺寸量测设备(CDSEM)出机,该设备为苏州矽视科技自主研发,其中最重要的电子光学系统具有自主的核心技术,完全摆脱进口,主要性能指标媲美国外同类产品,为国产替代再添新军。 苏州矽视科技有限公司于2021年6月成立,专注于高端半导体晶圆量检测设备的研发、生产和服务,致力于自...