经过申报、受理、评选等环节,东方晶源自主研发的关键尺寸量测设备CD-SEM成功斩获第七届IC创新奖——成果产业化奖。 CD-SEM用于集成电路硅片图形关键尺寸量测,是良率控制核心设备。该类设备被日本和美国公司垄断,国内空白,属于“卡脖子”产品。东方晶源自2021年先后推出12英寸CD-SEM和6&8英寸兼容CD-SEM设备,成功突破...
型号 CD-SEM 规格 CD 加工定制 是 新旧程度 二手 技术方案 是 是否现货 是 用途 晶圆测量 适用晶圆尺寸 200nm,300nm 测量范围 50nm~2µm 重复性 ±1%或2nm 晶圆吞吐量 24/h 放大倍数 1000 ~ 300kx 加速电压 300~1600V 主机尺寸 1200*2007*1900mm 显示装置 600*1496*1850mm 品牌 ...
CD-SEM是先进的全自动晶圆在线测量设备,它利用电子束扫描成像技术,主要在晶圆制造过程中实现关键工艺参数监控,应用于显影后光刻胶的临界尺寸测量以及刻蚀后接触孔直径/通孔直径和栅极线条宽度测量,是提高芯片制造良率、维持产品质量一致性的关键设备。惠然微电子掌握底层设计能力,在电子光学系统、图像处理算法、高速晶圆传...
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CD-SEM设备:青田恒韧完成新一轮融资 青田恒韧(青田恒韧智能科技有限公司)成立于2022年,是由CD-SEM领域资深人士创立的CD-SEM设备公司,研发中心位于北京市丰台区,其官方消息显示,公司主要专注于CD-SEM设备研发、设计与销售,核心团队在CD-SEM领域具有丰富的研发设计和经营管理经验。
SEM放大倍率 1000~150000 高纵横比接触孔图像 ≥12 品牌 Hitachi 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在爱采购上完成线上购买,则最终以订单结算页...
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集微网消息,近日,青田恒韧智能科技有限公司(简称“青田恒韧”)宣布完成Pre-A轮融资,由方富创投、明德投资共同投资。 青田恒韧成立于2022年,注册资本125万元,是一家半导体前道电子束量测CD-SEM设备研制商,致力研发并生产完全替代Hitachi CG5000的CD-SEM设备。
CD一般是由SEM图片计算得到的,SEM即扫面电子显微镜,电子打下来和样品作用后会释放X-ray,back scatter电子和二次电子等,这里主要收集的是二次电子的信号。二次电子一般为次级电子或自由电子,即原生电子与材料表面的初级电子碰撞,将其表面电子激发并释放二次电子,这种电子的能量比较低。而背散射电子是材料内部电子在...