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BLS-I and BCT-400测量系统对于单晶硅或多晶硅(硅锭或硅块)不需要进行表面钝化就可以进行寿命测量。因为寿命测量是描述生长特征和污染缺陷灵敏度的技术,这些工具允许你评估硅生长后的质量。 性能* 非接触方式量测真正意义上的硅块少子寿命,符合SEMI的PV13标准;相比业界其他少子寿命测试仪BLS-I/BCT系列是性能更*的...
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