使用O2等离子体氧化AlGaN层,并且使用BCl3等离子体去除氧化层。O2和BCl3的气体流速分别为50和10sccm。在O2和BCl3等离子体步骤之后,进行泵送步骤30秒,以避免任何残余O2或BCl3气体污染样品。 O2和BCl3等离子体处理过程中的压力分别为50毫托和10毫托,研究了ICP和偏置功率对DC自偏置的影响,如图所示2。观察到DC自偏压分别...
BCL3是三氯化硼,而金属氧化物是指由金属与氧元素组成的化合物。这两者之间没有明确的化学反应。然而,在某些条件下,BCL3可能会与金属氧化物发生反应,产生不同的产物。例如,当BCL3与铝氧化物(Al2O3)反应时,可以得到三氯化铝(AlCl3)和氧气(O2)作为产物。 反应方程式如下: 2BCl3 + Al2O3 → 2AlCl3 + 3O2...
氧气(O2) ≤1- 氮气(N2) ≤4- 二氧化碳(CO2) ≤2- 甲烷(CH4)≤0.5 - 一氧化碳(CO)≤0.5 - 四氯化硅(SiCl4)- ≤300 氯气(Cl2)- ≤10 其他(Others)- ≤500 包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中。 用途: ...
Gate-recessed normally-off GaN-on-Si HEMT using a new O2 -BCl3 digital etching technique [J]. Phys Status Solidi: C. 2010,7 ( 7 /8) : 2010 - 2012.S. Burnham, K. Boutros, P. Hashimoto, C. Butler, D. Wong, M. Hu and M. Micovic, "Gate-recessed normallyoffGaN-On-Si HEMT...
②对于反应(I)O2NNH2(aq)O2NNH-(aq) +H+(aq),化学平衡常数K=,由于v(正)=k1c(O2NNH2),v(逆)=k -1 c(O2NNH-)•c(H+),当反应达到平衡时,v(正)=v(逆),所以k1c(O2NNH2)=k -1 c(O2NNH-)•c(H+),则K=;③总反应速率方程为v=K,由于反应(I)v(正)=k1c(O2NNH2),v(逆)=k -...
相对密度1.43。熔点-107.3℃。沸点12.5℃。三氯化硼反应能力较强,能形成多种配位化合物,具有较高的热力学稳定性,但在放电作用下,会分解形成低价的氯化硼。在大气中,三氯化硼加热能和玻璃、陶瓷起反应,也能和许多有机物反应形成各种有机硼化合物。 应用领域...
乙硼烷的燃烧:B2H6(g)+3O2(g)=B2O3(s)+3H2O(g)ΔH=−2165kJ⋅mol−1 E. 乙硼烷酸性条件下还原乙酸:3CH3COO−+B2H6+6H2O=2H3BO3+3CH3CH2OH+3OH− 相关知识点: 试题来源: 解析 A 【详解】A.BCl3可与H2反应生成乙硼烷B2H6其方程式为:2BCl3+6H2=B2H6+6HCl,故A正确;B.硼酸是弱酸不能...
部分物质的熔点数据如下表:Na2ONaAlF3AlCl3Al2O3BCl3CO2SiO2920℃97.8℃1291℃190℃2073℃-107℃-57℃1723℃下列说法正确的是( ) A.AlF3.AlCl3.BCl3都是离子化合物B.表中共价化合物分子的所有原子都形成了8电子结构C.同族元素的氧化物形成的晶体类型一定相同D.金属晶体
-|||-(1)0中键数为4,孤电子对数=(6+2-4-|||-×2)=0,中心S原子的杂化轨道类型是sp3杂化,-|||-空间构型为正四面体形;O2-中σ键数为4,孤电-|||-子对数=(6+2-4×2)=0,中心5原子的杂化轨道-|||-类型是sp3杂化,S原子含有孤电子对数为1,属于-|||-该离子为三角锥形;-|||-(2)BC3中的B...
分辨率:CO(0.1ppm)、BCL3 S(0.01ppm)、O2(0.01%Vol)、Ex(0.1%LEL)、CO2(1ppm)、 NOX(0.1ppm),更高分辨率可订制 检测原理:电化学、催化燃烧、红外、热导、PID光离子,根据气体、量程、现场环境和用户需求而定 检测方式:内置泵吸式,流量500毫升/分钟 ...