美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求 项目TypeE-1TypeE-1．1TypeE-1.2TyPeE-2TyPeE-3TyPeE-4线宽(μm) 1.0-0.50.5-0.250.25-0.185-1>5- 电阻率18.218.218.217.5120.5 热源(EU/ml)0.030.030.030.25-- TOC(μg／L)521503001000 溶解氧DO(μg／L)111--- 蒸发残渣(μg／...
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