ASTM D5127-2007 UPW系统水质指标-中文.pdf 3页 内容提供方:GG-水处理 大小:155.46 KB 字数:约1.22万字 发布时间:2025-04-17发布于广东 浏览人气:13 下载次数:仅上传者可见 收藏次数:0 需要金币:*** 金币(10金币=人民币1元) ASTM D5127-2007 UPW系统水质指标-中文.pdf 关闭预览 想预览更多内容,点击免
ASTM D5127-07由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 2007。 ASTM D5127-07 在中国标准分类中归属于: L04 基础标准与通用方法。 ASTM D5127-07 电子学和半导体工业用超纯水标准指南的最新版本是哪一版? 最新版本是ASTM D5127-13(2018)。 1.1 本指南提供了与电子和半导体行业制造相关的水质建议。描述了六种水...
美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求 项目 TypeE-1 TypeE-1.1 TypeE-1.2 TyPeE-2 TyPeE-3 TyPeE-4 线宽(μm) 1.0-0.5 0.5-0.25 0.25-0.18 5-1 >5 - 电阻率 18.2 18.2 18.2 17.5 12 0.5 热源(EU/ml) 0.03 0.03 0.03 0.25 - - TOC(μg/L) 5 2 1 50 300 1000 溶解氧DO(μg/...
ASTM D5127-13(2018) 适用范围 本指南推荐了电子和微电子行业所需的水质。需要高纯度水来防止制造过程中的产品污染,因为污染会导致电子设备的产量不可接受、产量低。水纯度的范围是根据制造工艺确定的。超纯水的类型是根据设备线宽来定义的。在所有情况下,水质建议均适用于分配点。杂质的限制与当前的污染规格和可用...
ASTM D5127-13 在中国标准分类中归属于: L04 基础标准与通用方法。 ASTM D5127-13 电子学和半导体工业用超纯水的标准指南的最新版本是哪一版? 。 1.1 类型 E-1.2B 类型E-1.3B型 E-2型 E-3型 E-4型 线宽(微米) 1.0–0.5 0.35–0.25 0.18x2……...
美国ASTM_D5127电子及半导体工业用纯水水质要求.doc,美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求 项目 TypeE-1 TypeE-1.1 TypeE-1.2 TyPeE-2 TyPeE-3 TyPeE-4 线宽(μm) 1.0-0.5 0.5-0.25 0.25-0.18 5-1 5 - 电阻率 18.2 18.2 18.2 17.5 12 0.5 热源(EU/ml) 0.03 0.03 0
美国ASTMD5127电子及半导体工业用纯水水质要求 项目TypeE-1TypeE-1.1TypeE-1.2TyPeE-2TyPeE-3TyPeE-4 线宽(μm)1.0-0.50.5-0.250.25-0.185-1>5- 电阻率 热源(EU/ml)-- TOC(μg/L) 溶解氧DO(μg/L)--- 蒸发残渣(μg/L)--- 微粒(μm)(SEM检测) ...
ASTM D 5127 - 13 (2018) 1 下载积分: 2800 内容提示: Designation: D5127 − 13 (Reapproved 2018)Standard Guide forUltra-Pure Water Used in the Electronics andSemiconductor Industries 1This standard is issued under the f i xed designation D5127; the number immediately following the designation ...
本专题涉及美标《电子和半导体行业用超纯水标准指南》(astm-d5127-13)的标准有5条。 国际标准分类中,美标《电子和半导体行业用超纯水标准指南》(astm-d5127-13)涉及到水质、化工产品。 在中国标准分类中,美标《电子和半导体行业用超纯水标准指南》(astm-d5127-13)涉及到基础标准与通用方法、水环境有毒害物质分析...
ASTM D5127-13的标准全文信息,1.1 类型 E-1.2B 类型E-1.3B型 E-2型 E-3型 E-4型 线宽(微米) 1.00.5 0.350.25 0.18x2…… 4.1This guide recommends the water quality required for the electron