目前asml的官网主要出售的光刻机有三款型号,分别是NXT:2050i,NXT:2000i,NXT:1980Di,在这里面目前只有最低端的1980Di允许出售给中国,1980Di型号的DUV光刻机单次曝光精度为38nm,在多次曝光工艺下,能将芯片制程缩小到7nm。但是多次曝光费用和技术也随之上升,所以虽然我们能买到1980Di,但是想用其生产出7nm的芯片,还...