高K栅介质材料的研究现状与前景/余涛等?25? 高K栅介质材料的研究现状与前景 余涛.,吴雪梅.一,诸葛兰剑～,葛水兵. (1苏州大学物理系,苏州215006;2苏州大学分析测试中心,苏州215006;3苏州大 学江苏省薄膜材料重点实验室,苏州215006; 4中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室,上海 ...
高K栅介质材料的研究现状与前景