RMS和PV都是衡量元件面形精度的重要参数,但它们的概念和计算方法有所不同。RMS值通过计算表面各点高度差的平方和的平均值的平方根得出,能够更准确地反映元件表面的整体形貌特征;而PV值则直接表示元件表面最高点和最低点之间的高度差,仅考虑了最大偏差情况。在实际应用中,RMS...
RMS在计算过程中,没有与面形矩阵中所有有效元素的平均值\bar {W}作差,所以数据的平均值对RMS值的大小有影响:同一元件面形在去Piston(活塞)之前和之后,面形误差的RMS值不一样。关于这个结论,我们将在另一篇原创文章《去Piston前后的面形误差RMS值为什么不一样?》里讲到; STD和Var在计算过程中都与面形矩阵中所...
在本文中,我们将会详细探讨两种常用的描述元件面形误差的参数:pv和rms。 1. pv参数 pv参数是表征元件面形误差“峰-谷”高度差的重要参数。其全称为面形误差峰-谷值(Peak-to-Valley)。通常情况下,pv参数指的是元件表面离散点在最高点和最低点之间的距离。 在实际工程中,通过测量元件实际表面的高度差,在相邻...
研磨件表面粗糙度通常是在60~100W的白炽灯照明下，用目视进行观察，其等级可与样品比较来确定。要求研磨...
高精度光学平面零件的面形精度可用下列二个评价指标,如下图所示。 1.PV值是表面形貌的最大峰谷值 2.RMS值是表面形貌的均方根值,RMS的定义是: 式中,xi单次测值, ,N重复测定次数。 三、实验光路 1-激光器3,5-定向孔6,7,9,16-反射镜8-物镜10-准直透镜14-分光棱镜18-带压电陶瓷的组合工作台20-成像...
精度定义为与理想面的偏离值，单位用波长来表示，分RMS和PV。RMS: Root-Mean-Square【数】均方根(值);PV:Peak Value最大差别值/峰值
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实验一,面形的三维干涉测量及评价,PV值与RMS值,一,实验目的,1,了解表面三维形貌的高精度实时测量原理2,实测一个平面光学零件的表面形貌3,对评价指标PV,RMS的定义有所掌握二,实验原理,本实验采用数字干涉测量原理进行,本实验与实验二
1. RMS在计算过程中,没有与面形矩阵中所有有效元素的平均值作差,所以数据的平均值对RMS值的大小有影响:同一元件面形在去Piston(活塞)之前和之后,面形误差的RMS值不一样。 STD和Var在计算过程中都与面形矩阵中所有有效元素的平均值 作差了,所以数据的平均值对STD和Var值的大小无影响,它们反映了样本与平均值之...
【摘要】针对镜面面形均方根(RMS)无法反映表面面形的空间频域特性,借鉴了国际上先进的斜率均方根(Slope RMS)作为面形评价方法.本文以2 m级望远镜三镜作为例子,将SlopeRMS作为优化目标函数,计算了支撑点的位置,给出的支撑之后面形误差RMS值为6.88 nm,在空间间隔为0.25 mm时的Slope RMS值为0.17809 μrad.利用Zern...