对于干涉测量而言，它属于一种相对测量，是被测表面与参考表面发生干涉形成干涉条纹，并对条纹做分析来获得面形结果，测量结果中，不仅包含被测元件的面形分布，还包含参考面的面形误差。因此，为了获得被测表面真实的面形分布，需要对干涉仪设备做校准，获得恒定存在的系统误差，并在后续测量中将此系统误差从结果中去...
1 引言在前面的章节中，我们详细探讨了光学元件面形误差的定义与表征方法，包括面形误差函数、表面不规则性、RMSt、RMSi和RMSa等关键指标。然而，实际测试中，干涉仪测得的波面误差并非纯粹的面形误差，还可能包含光路调整误差等额外因素。例如，在测试平面元件时，若被测元件与平面标准镜存在倾斜，波面误差中便...
对于面形测量设备,最简单的校准办法是找一个理想的元件表面,它的面形误差极小,面形分布也是已知的,用它做为一个基准,来对干涉仪系统做校准,这样的基准元件通常使用零膨胀玻璃材料,以避免温度改变对其面形的影响。另外的一个途径,就是开发干涉仪的校准方法,利用这些校准方法,将干涉仪系统误差从测量结果中分离开来...
在上文中，我们提到了利用被测镜在三个关键位置的面形分布数据来求解其面形的方法。其中，surf表示被测镜的面形，ref代表参考面的面形，而trans则代表球面标准镜的波前误差。通过这些数据，我们可以精确地计算出被测面的面形，以及标准镜和参考面的误差。基于这种方法，科研人员进一步发展了五位置测试方法，它在共...
RMS在计算过程中,没有与面形矩阵中所有有效元素的平均值 \bar {W} 作差,所以数据的平均值对RMS值的大小有影响:同一元件面形在去Piston(活塞)之前和之后,面形误差的RMS值不一样。关于这个结论,我们将在另一篇原创文章《去Piston前后的面形误差RMS值为什么不一样?》里讲到; STD和Var在计算过程中都与面形矩阵...
①、控制砂挂光圈，加工时随时检测面形。②、修整研磨皿，使镜片与研磨皿有良好的吻合。③、更换或修整研磨皿，使曲率半径符合设计要求。④、调整摆动幅度，一般减小摆动幅度和偏心位移量或作对称摆动可减少或消除凹心理；毛刷去除中心部研磨粉。⑤、适当抬升串棒或将压力放低。⑥、修正治具。⑦、调偏摆动。（四）...
干涉仪通过分束产生参考光束和测试光束,测试光束经被测光学元件反射后与参考光束干涉形成条纹,通过分析条纹形状、间距及相位变化计算面形误差。 1. **分光与干涉**:干涉仪将光源分为参考光束和测试光束。参考光束经过标准镜面反射,测试光束经被测元件表面反射。2. **光程差形成**:若被测面形存在误差,测试光束与参...
是自由曲面面形误差。自由曲面是没有旋转对称性的曲面，其形状可 以是二次曲线、非旋转对称的非二次曲面或复杂曲率曲面。面形误差 是指光学自由曲面与理想曲面之间的形状偏差。这种形状偏差可能会 导致光学系统的成像质量下降，因此我们需要对其进行准确的评定。光学自由曲面面形误差的评定方法可以分为直接测量法和间接...
傅里叶分析常用于处理低频面形误差数据 。低频面形误差会影响光学系统分辨率 。不同材料制成的光学元件低频面形误差不同 。环境温度变化可能引起低频面形误差波动 。低频面形误差会造成图像模糊或失真 。光学设计时需考虑低频面形误差的补偿 。采用自适应光学技术可校正低频面形误差 。低频面形误差的空间频率分布有...
在光学制造和设计中，传统的光学面形误差峰谷值（PV）曾被广泛应用，但其在某些测量场景下存在不足。由于不同干涉仪探测器的空间分辨率、噪声等因素的影响，PV值可能不能准确反映表面的实际形状，且滤波方法的不统一导致测量的重现性存在问题。为了解决这些问题，Zygo公司提出了一个名为PVr的新型稳健振幅...