改良西门子法多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。改良西门子工艺是在传统的西门子工艺的基础上，同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H₂、HCI、SiCI₄等副产物以及大量副产热能的配套工艺。世界上绝大部分厂家均采用改良...
1955年,西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷SiHCl3在硅芯发热体(多晶硅的载体)上沉积硅的工艺技术,并于1957年开始了工业规模化生产,即西门子法。在西门子法工艺的基础上,通过增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺,实现了闭路循环,于是形成了“改良西门子法——闭环式SiHCl3氢还原法,涉及的主要反应如下: 图1...
硅烷法可以分为两类,较早出现的是硅烷西门子法(Silane Siemens),即用硅烷(SiH4)而非TCS作为CVD还原炉的原料,通过硅烷(包括副产品SiH2Cl2,下文简称DCS)的热分解和气相沉积来生产高纯度多晶硅棒料,REC旗下的REC Silicon公司(位于美国,包括原Asimi和SGS)采用过此方法生产电子级多晶硅; 不过,REC近期的多晶硅扩建项目采用...
改良西门子法，这一在半导体和光伏行业广泛应用的制备高纯度多晶硅的技术，相较于传统的西门子法，在能耗、物耗及环保方面均有所提升。其工艺流程涵盖原料准备、氯化反应、精馏提纯、氢化反应、还原反应、尾气回收以及硅棒的冷却与处理等多个环节。此外，改良西门子法还具备显著的节能优势，通过采用多对棒、大直径还原炉...
多晶硅生产中的三氯氢硅还原法（西门子法）三氯氢硅还原法，又称西门子法 是由西门子公司率先研究并成功应用于多晶硅生产的方法。其起始原料为冶金级硅，通过与氯化氢（HCl）在特定条件下进行催化合成反应，生成三氯氢硅，这一步骤被称为氯化粗硅。三氯氢硅，亦被称为三氯硅烷或硅氯仿，不仅是化工工业中制取有机...
三氯氢硅西门子法是以三氯氢硅为原料，通过氢气还原，在还原炉中制备出高纯多晶硅。其化学反应式为：SiHCl3（气）+H2（气）→Si（固）+3HCl。整个工艺流程包括三氯氢硅的制备、精馏提纯、还原、氢化、尾气回收以及后处理等多个环节。其中，三氯氢硅的制备是关键步骤，需要使用HCl和冶金硅作为原料，通过合成反应...
西门子法已经成为目前多晶硅生产的主要方法之一。在多晶硅生产中,通过西门子法可以生产出高纯多晶硅,可用于半导体器件和太阳能电池的生产。 除此之外,随着技术的不断进步,西门子法在多晶硅生产领域的应用将更加广泛。使用西门子法生产的多晶硅还可用于生产锗、砷化镓等半导体材料,对于半导体领域的发展...
下面是改良西门子法生产多晶硅的工艺流程。通电饱和食盐水点燃焦炭制粗硅粉碎合成SiHCl3提纯SiHC还原多晶硅石英(1)用惰性电极电解饱和食盐水,写出常温下X与Z反应的化学方程式(2)制取粗硅时可以得到一种气体,其化学式为(3)在“合成SiHCls”的过程中,还会生成副产物SiCl。①已知两物质的沸点分别为57.6℃和31.8℃,则提...
内容提示: 改良西门子法制备高纯多晶硅 摘 要:本文主要叙述了高纯多晶硅的各种制备方法,有三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法、四氯化硅氢还原法、流化床法、物理提纯法等其他制备高纯多晶硅的工艺。[1] 其中重点介绍了现在普遍都运用,技术相对成熟的改良西门子法,包括改良西门子法的制备工艺、三氯氢硅的提纯及尾气处理...