到了上面这一步,其实已经形成我们想要的垂直结构了,最上面是poly,下面是SiO2,再到下面是衬底。但是现在整片wafer都是这样,其实我们只需要一个特定位置是“水龙头”结构。于是就有了整个工艺流程中最最关键的一步—曝光。我们先在wafer表面铺一层光刻胶,也叫光阻(很难解释光刻胶的概念是什么,我相信你看着...
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