电子封装专用设备-第2章--半导体芯片制造工艺与设备.pdf,目录 1 第 2 章 半导体芯片制造工艺与设备 2.1 概述 1. 固态半导体芯片的制造过程 半导体芯片的种类及结构形式有多种多样,但是制造过程基本相 同。以固态半导体芯片的制造过程为例,固态半导体器件制造大致经 历 5
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