等离子体刻蚀是通过将气体激发成等离子体状态,利用高能离子或自由基的化学反应以及物理轰击来去除材料表面的一种技术。它具有高精度、高速率和高选择性等特点,是制备微结构和纳米结构的重要手段。 二、等离子体刻蚀过程 等离子体刻蚀过程主要分为物理刻蚀和化学刻蚀两个阶段。 1.物理刻蚀:当气体被加热并加高电压或电磁...
等离子体刻蚀机的工作原理基于等离子体技术。首先,在真空室内注入气体,然后,通过射频发生器产生高频电场,使气体离子化,形成等离子体。等离子体在上下电极之间形成,形成的等离子体将表面的材料刻蚀掉。不同的气体和电极形状会产生不同的等离子体形态和分布,从而实现微米级别的图案刻蚀。 等离子体刻...
感应耦合等离子体（ICP）刻蚀机是一种高效精密的微加工设备。其工作原理基于ICP技术，通过高频电源使气体（如Ar、SF6等）在高频电磁场中产生高密度等离子体。在ICP刻蚀过程中，等离子体中的活性基团或离子与待刻蚀材料发生化学反应，这一过程称为化学刻蚀。通过化学反应，材料中的键被打开，从而实现材料的去...
等离子体中的活性基团或者离子与所需刻蚀的材料发生化学反应，并去除；一般在刻蚀的过程中同时也伴随着...
射频的工作原理:发射一定的高频无线电波作用于探头上，以此分析和确定容器内物位的变化。射频导纳开关对所探材料的不同，无线电波的频率也随之改变。射频导纳开关的探头和容器壁构成了一个间距固定的电容两级，探头的绝缘材料和周围的空气提供绝缘介质。空气被其它介质所取代时，探头与容器壁所构成的电容量...
等离子体刻蚀是一种常见的微纳加工技术,广泛应用于集成电路制造、纳米材料制备等领域。本文将介绍等离子体刻蚀的工作原理,帮助读者更好地了解这一技术。 一、简介 等离子体刻蚀是通过将气体激发成等离子体状态,利用高能离子或自由基的化学反应以及物理轰击来去除材料表面的一种技术。它具有高精度、高速率和高选择性等特...