《面向柔性电子制造的空间隔离原子层沉积系统基础研究》是依托华中科技大学，由陈蓉担任项目负责人的面上项目。项目摘要 原子层沉积（ALD）薄膜制造方法因其优良的均匀一致性和厚度可控性，在柔性电子器件的封装层、功能层等具有突出表现和潜在应用。近年迅速发展的空间隔离原子层沉积（SALD）方法可以进一步满足柔性电子大...
本文针对柔性基底在空气中水氧阻隔性差的问题,提出了利用空间隔离原子层沉积(SpatialAtomicLayerDeposition,SALD)技术对柔性基底进行沉积氧化铝阻隔膜的方法。同时设计并搭建了基于卷对卷的SALD设备,可实现常压、低温条件下大面积、连续性柔性基底阻隔膜的沉积。工作内容主要体现在以下几个方面:(1)基于卷对卷的工艺特点,...
1.一种基于流化床的纳米颗粒空间隔离原子层沉积设备,其特征在于,该设备包括原 子层沉积装置(9)、两组氮气供给装置(1)、第一前驱体供给装置(2)和第二前驱体供给装置 (3),其中:所述原子层沉积装置(9)包括多组沿圆周分布的沉积单元,每组沉积单元均包括四个 粉体反应腔,该粉体反应腔分为上、中、下三个部分(...
摘要 本发明公开了一种基于空间隔离的纳米颗粒原子层沉积装置及方法,本发明使待包覆的纳米颗粒随气流通过分布有多个电极的管路,颗粒经过电极时由于尖端放电作用带上同种电荷,从而使纳米颗粒间相互排斥,防止团聚,达到分散颗粒的目的,然后通过清洗区域或前驱体反应区域,实现纳米颗粒的均匀包覆。本发明采用空间隔离的原理,使...
摘要 本发明属于微纳制造相关领域,并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置,其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动,带动喷头装置沿竖直方向移动;喷头装置的密封腔与升降台连接,密封腔盖板固定在密封腔的上方,模块化喷头固定在密封腔的...
本发明属于微纳制造相关领域,并具体公开了一种模块化密封式空间隔离原子层沉积薄膜设备。该设备包括运动装置、喷头装置、密封装置和反应装置,其中运动装置用于带动密封装置和反应装置沿水平轨道移动,带动喷头装置沿竖直方向移动;喷头装置的密封腔与升降台连接,密封腔盖板固定在密封腔的上方,模块化喷头固定在密封腔的下方;...
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摘要 本发明公开了一种基于流化床的纳米颗粒空间隔离原子层沉积设备及方法,其将待包覆的纳米颗粒放入粉体反应腔的中间部分中,粉体反应腔的中间部分在动力源的带动下作间歇性圆周运动,依次经过第一清洗区、吸附区、第二清洗区、反应区,在纳米颗粒表面形成一层包覆薄膜,循环运动以得到理想的膜厚。本发明能够实现在常压...