离子束铣削 (Ion Beam milling) 是一种利用离子源在基板上进行材料去除工艺的薄膜技术。Ion Beam milling 是一种离子束溅射,无论是用于预清洁还是图案蚀刻,它都有助于确保出色的附着力和 3D 结构的精确形成。主要用于微电子制造、光学元件制造和材料科学研究中。 离子束铣削原理: 离子束铣削是一种依赖于动能转移的...
离子铣削系统配备了高能量和低能量离子源。用高能离子枪进行快速斜度切削,然后用低能离子枪进行温和的表面清洁,提供适用于半导体故障分析和其他分析目的的横截面SEM样品。该系统还提供了基于离子铣削的解决方案,用于改进和清洁机械抛光的SEM样品,并为EBSD技术制备无损伤表面。新的16 keV超高能离子源比以前更强大,具有更高...
日本sanyu electron离子铣削设备SVM-721 特征 该设备非常适合抛光无法通过电解抛光或化学抛光处理的样品的最外表面。 这是一种离子铣削设备,也是电解抛光或化学抛光后的精加工的理想选择。 无需准备用于离子铣削的特殊样品(使用超薄切片机等进行切片制备)。 与FIB设备相比,它具有出色的性价比。 离子源 方法 冷阴极笔装...
离子束铣削:精密薄膜技术的革新/在精密微电子、光学元件制造以及材料科学研究的前沿,一种名为离子束铣削 (Ion Beam milling) 的薄膜技术正崭露头角。它是一种独特的材料去除工艺,通过离子源的力量在基板上创造出极致的附着力和三维结构的精确形态。原理与运作/离子束铣削基于动能转移的蚀刻原理,首先将...
原创机械电子工程技术2022-11-06 11:25广东 展开微纳加工——聚焦离子束铣削 制造工艺16个内容 制造工艺· 目录
00:00/00:00 工业生产的辅助利器:IM4000PLUS系列离子铣削系统 木木西里2020.12.11 13:53 +1 首赞 IM4000 Plus系列离子铣削系统是支持断面铣削和Flatmilling的第二代IM4000系列混合动力仪器。提供多种系统配置:标准,冷却,空气保护,冷却和空气保护。
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制造商:HITACHI 设备名称:离子铣削装置 商品编号: F90032 制造商:HITACHI 型号:IMR-3-1 制造日期:1992年 类别:半导体 规格参数:1、最大加速电压:1.0kV 2、最大减速电压:10.kV 3、最大离子电流密度:1.0mA/cm2 4、离子研磨主体重量:860kg 5、离子源电源重量:200kg 6、控制盘重量:250kg ...
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