详细介绍聚焦离子束(FIB)加工连续凹凸微光学元件的新颖方法.这种方法可微加工特征尺寸小到亚微米程度的衍射光学元件(DOEs).FIBs直接铣削,无需增加任何其他工序,就容易地在任何基片上(金属和非金属)加工出微结构,并可加工复制微光学元件用的压模.热压花复制的DOEs,凹凸表面上2×2μm^2面积内测得的粗糙度均方根(rms...
基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备
用聚焦离子束技术在基片上直接铣削连续凹凸微光学元件的研究 维普资讯 http://www.cqvip.com