用于切割碳化硅衬底T..一、碳化硅衬底TTV控制的重要性碳化硅衬底的TTV是指衬底表面各点厚度最高点与最低点之间的差值。TTV的大小直接影响后续研磨、抛光工序的效率和成本,以及最终产品的质量和性能。因此,在碳化硅衬底的加工过